Ilmasäiliö
Oct 12, 2023| Ilmasäiliö
Pienen diffuusiopumpun suurtyhjiöpumppuryhmä on yleensä konfiguroitu kaasusäiliöllä, joka on järjestetty diffuusiopumpun ja etupumpun väliin diffuusiopumpun purkaman kaasun varastoimiseksi. Syitä kaasusäiliön asettamiseen ovat:
1) Järjestelmän iskusuojauksen tarve
Kun tyhjiöjärjestelmä toimii, jotkin prosessit vaativat tiukkaa iskunkestävyyttä, joten entisen mekaanisen tyhjiöpumpun on lopetettava toimintansa joksikin aikaa, kun tyhjiökammio on toimintakunnossa. Tänä aikana diffuusiopumpun poistama kaasu varastoidaan kaikki kaasusäiliöön, ja kaasusäiliötä käytetään mekaanisen pumpun korvaamiseen diffuusiopumpun normaalin toiminnan ylläpitämiseksi.
2) Työjakson lyhentämiseksi
Jotkut tuotantoprosessit edellyttävät, että tyhjiökammio viedään ilmakehään vastineeksi komponenteista ja latauksesta ilman diffuusiopumpun lämmittimen sulkemista. Tyhjiöyksikön etupumppua käytetään esipumppauspumppuna. Lataamisen jälkeen tyhjiökammio esipumpataan mekaanisella pumpulla, ja kaasusäiliötä käytetään tänä aikana diffuusiopumpun (etupumppuna) ylläpitämiseen.
3) Jotta suuri määrä hetkellistä kaasupurkausta tyhjiökammiossa ei vaikuttaisi diffuusiopumpun normaaliin toimintaan
Tyhjiöprosessituotannossa pakokaasumäärä on erityisen suuri tietyssä ajassa, mutta aika on lyhyt. Jos ei ole taloudellista konfiguroida mekaanista pumppua suurimman pakokaasumäärän mukaan tällä hetkellä, esivaiheen varastosäiliö voidaan konfiguroida järjestelmässä tällä hetkellä varastoimaan osa kaasusta suurimmalla pakokaasumäärällä, jotta vältetään diffuusiopumpun esivaihepaine ylittää suurimman vastapaineen.
4) Käytetään diffuusiopumpun ulostulopaineen stabilointiin
Koska mekaanisen tyhjiöpumpun pakokaasu on pulssimainen, vaikka taajuus ei ole korkea (yleensä noin 7 kertaa/s), se aiheuttaa myös vaihteluita diffuusiopumpun ulostulopaineessa, ja kaasusäiliön säätö voi vähentää tällaista. vaihtelut.
IKS PVD-yritys, koristepinnoituskone, työkalujen päällystyskone, DLC-pinnoituskone, optinen päällystyskone, PVD-tyhjiöpinnoituslinja, avaimet käteen -projekti on saatavilla. Ota meihin yhteyttä nyt, sähköposti: iks.pvd@foxmail.com