Ionisäteen käsittelyn luokittelu

Ionisäteen käsittelyn luokittelu

Ionisäteen prosessoinnin fyysinen perusta on isku-, sputterointi- ja injektiovaikutus, kun ionisäde osuu materiaalin pintaan. Yleensä on neljä luokkaa:

I syövytystä

Kun argonioneja, joiden energia on 0,1 ~ 5 keV ja joiden halkaisija on muutama kymmenesosa nanometristä, käytetään työkappaleen pinnan pommittamiseen, tämän korkean energian ionin siirtämä energia ylittää työkappaleessa olevien atomien (tai molekyylien) sidosvoiman. Materiaalin pinnalla olevat atomit (tai molekyylit) ruiskutetaan yksi kerrallaan prosessointitarkoituksen saavuttamiseksi. Tämä työstö on pääosin atomimittakaavan leikkausprosessi, jota usein kutsutaan ionin jyrsinnäksi.

Ionisyövytystä voidaan käyttää prosessoimaan ilmalaakereiden uria, rei'itysreikiä, käsittelemään erittäin ohuita materiaaleja ja erittäin korkealaatuisia asfäärisiä linssejä, ja sitä voidaan käyttää myös integroitujen piirien tarkkuusgrafiikan etsimiseen.

IKS PVD elektronisäteen optinen päällystyskone ， IKS-OPT2700, Lisätietoja, tervetuloa yhteyttä iks.pvd@foxmail.com