Magnetron-katodisputterointikohteen luokittelu
Jun 08, 2018| Magnetronin sputterointitavoite on tyhjömaalaus mekaanisia osia ja myös tehoelektroniikkakomponentteja. Kohdekytkennän näkökulmasta katsottuna olemme enemmän huolissaan sen sähköisestä suorituskyvystä.
1. Mekaanisen rakenteen mukaan
Mekaanisen rakenteen ja tavoittelun muodon mukaan magnetronin sputterointitavoite jakautuu pääasiassa tasoon (suorakaiteen muotoisiin tai pyöreisiin) magnetronisiin kohteisiin, koaksiaalisiin pakkokeinoihin, rengasmainen kartiomaiseen magnetronikohtaan (S gun) ja useisiin muihin.
2. Planaaristen kohdemateriaalien mukaan
Tasainen kohde on jaettu tasomaiseen suorakulmaiseen magnetronikohtaan, tasapintaiseen ympyrän magnetronikohtaan ja kaarimagnronin kaksoiskäyttöiseen komposiittirakenteeseen tasomaaliseksi kohteeksi.
3. Magneettikentän mukaan
(1) Magnetron-kohteet voidaan luokitella kestomagneetteihin ja sähkömagneeteihin riippuen magneettikentän muodostumismoodista.
(2) Magneettikentän järjestelyn ja jakautumistilan erotus tyhjiökammiossa ja magneettisten pylväiden ja magneettilinjojen eron jakaantumistilanne eron mukaan voidaan jakaa tasapainotettuun magnetronisputterointiin ja epäsymmetriseen magnetronisaveritukseen (epäsymmetrinen magnetronisavertaus voi saada plasman ulottumaan poispäin kohdepinnasta parantamaan pinnoitekerroksen laatua ja suuren alueen ioni-kerrostumisvaikutusta profiloituun työkappaleeseen.) Monen kohteen suljettu magneettikenttä epäsymmetrinen magnetronisusputterausjärjestelmä voi saada korkean kerrostumisnopeuden ja laadukkaamman ohutkalvon .
(3) Magnetronin sputterointitavun epäsymmetrinen magneettikenttä voidaan saada paitsi vaihtamalla sisäisten ja ulkoisten kestomagneettien koko ja vahvuus myös kahdella sähkömagneettisella kelalla tai käyttäen sähkömagneettisten käämien ja pysyvän magneetteja ja lisäksi lisäävät solenoidit katodin ja substraatin välillä katodin ja substraatin välisen magneettikentän muuttamiseksi ja hallitsemaan positiivisten ionien ja atomien suhdetta kerrostumissa parhaan tuloksen saavuttamiseksi.