Yhdistetty ultrakorkea alipainejärjestelmä

Yhdistetty ultrakorkea alipainejärjestelmä
Joillekin alipainejärjestelmille, joilla on erityisvaatimukset, kuten ne, jotka vaativat sekä ultrakorkean tyhjiön että öljyttömän ultrakorkean tyhjiön ja vastaavat samalla karkean pumppauksen tarpeita ja selviävät prosessin aikana vapautuvasta suuresta kaasumäärästä, yhdistettyä järjestelmää voidaan käyttää vaatimusten täyttämiseksi. Kuvassa 5-16 on öljyttömän ultra-tyhjiöpäällystimen tyhjiöjärjestelmän kaavio. Pääpumppu on sputterointiionipumppu, joka on varustettu titaanisublimaatiopumpulla alipaineasteen parantamiseksi ja materiaalien haihduttamisessa syntyvän suuren kaasumäärän poistamiseksi. Lopullinen tyhjiöaste voi olla 6,67 × 10-7 Pa. Molekyyliseulapumppua käytetään pääpumpun esipumppauspumppuna. Lisäksi järjestelmässä on myös adsorptioloukku - mekaaninen pumppu karkea pumppausjärjestelmä, kun paine on suurempi kuin 1333Pa, mekaaninen pumppu ei ole helppo palauttaa öljyä, tyhjiö suoraan tyhjiökammioon mekaanisella pumpulla, kun tyhjiökammion paine on pienempi kuin 1333 Pa, mekaaninen pumppu adsorptioloukun 9 läpi ohitustyhjiökammiosta.

▲ Kuva 5-16 Öljytön ultrakorkean tyhjiöpäällystimen tyhjiöjärjestelmän kaavio: 1- tyhjiökammio 2- ultrakorkean tyhjiön sulkuventtiili 3- Sputteroiva ionipumppu {{7} } titaanisublimaatiopumppu 5- ultra-tyhjiöventtiili 6- tyhjennysventtiili 7- korkeapaineventtiili 8- molekyyliseulapumppu 9- adsorptiolukko 10- mekaaninen pumppu

IKS PVD-yritys, koristepinnoituskone, työkalujen päällystyskone, DLC-pinnoituskone, optinen päällystyskone, PVD-tyhjiöpinnoituslinja, avaimet käteen -projekti on saatavilla. Ota meihin yhteyttä nyt, sähköposti: iks.pvd@foxmail.com