Yhdistetty ultrakorkea alipainejärjestelmä, sputteroiva ionipumppu - Titaanisublimaatiopumppusarja

Yhdistetty ultrakorkea alipainejärjestelmä, sputteroiva ionipumppu - Titaanisublimaatiopumppusarja

Kuva 5-17 Yhdistetty ultrakorkea alipainejärjestelmä: 1- tyhjiökammio 2- Ultrakorkean tyhjiön sulkuventtiili 3- Sputterointiionipumppu - Titaanisublimaatiopumppuryhmä 4- Ultra -korkean tyhjiön sulkuventtiili 5- kylmäluukku 6- diffuusiopumppu 7- etuputkiventtiili 8- ultrakorkean tyhjiön putkiston venttiili 9- tyhjennysventtiili 10- mekaaninen tyhjiöpumppu

Kuvassa 5-17 näkyy toisen tyyppinen yhdistetty ultrakorkea tyhjiöjärjestelmä. Järjestelmä soveltuu tyhjiötiivistysuuneihin, tantaalilevyuuneihin ja muihin laitteisiin. Järjestelmän pääpumppu on sputterointi-ionipumppu-titaanisublimaatiopumppuryhmä. Tyhjiökammion rajatyhjiö voi olla 5×10-7Pa. Järjestelmä on varustettu yksiköllä, joka koostuu öljydiffuusiopumpusta ja mekaanisesta pumpusta, jota käytetään karkeapumppaukseen ja esipumppaukseen pääpumppuna ja joka voi pumpata pois prosessin aikana vapautuvan suuren

IKS PVD-yritys, koristepinnoituskone, työkalujen päällystyskone, DLC-pinnoituskone, optinen päällystyskone, PVD-tyhjiöpinnoituslinja, avaimet käteen -projekti on saatavilla. Ota meihin yhteyttä nyt, sähköposti: iks.pvd@foxmail.com