Vaikutus pulssivaiheeseen monikertakaulusylinterien koostumuksesta ja rakenteesta Tialn-kalvoissa

1. Pulssijännitteen ja työkierron kasvun myötä suuret hiukkaset pinnalla vähenevät huomattavasti ja pinnan topografia-vaikutus on parempi.

2. Kun esijännitysjännitteen huippuarvo kasvaa, laskeumanopeus pienenee; kun työmäärän suhdetta kasvatetaan, kerrostumisnopeus kasvaa ensin ja pienenee, ja kun käyttöaste on 40%, laskeutumisnopeus on suurin.

3. Al-atomiprosentti vaikuttaa pääasiassa pulssi-biasen huippuarvoon ja pienenee bias-jännitteen kasvulla. Ti-atomin prosenttiosuus vaikuttaa pääasiassa työkiertoon ja laskee käyttöjakson kasvaessa.

4. Pulssivärin kasvaessa kalvon kovuus kasvaa ensin ja laskee sitten. Kun työkierto kasvaa, kalvon kovuus kasvaa ensin ja laskee sitten, ja muutokset ovat ilmeisiä.