Kuinka PECVD toimii
Apr 17, 2024| Kuinka PECVD toimii
PECVD-menetelmällä kasvatetaan piinitridiohutkalvoja käyttämällä epätasapainoisen plasman ominaisuuksia, eli plasmamolekyylit, atomit, ionit tai aktiiviset ryhmät ovat samoja kuin ympäröivä ympäristö ja epätasapainoiset elektronit pienen massansa vuoksi, niiden keskilämpötila voi olla kaksi suuruusluokkaa suurempi kuin muiden hiukkasten, joten normaaleissa olosuhteissa tarvitaan korkeita lämpötiloja (300 astetta C -450 astetta C) monien reaktiot. Saostusprosessin aikana erityisillä kaasun NH3- ja SiH4-molekyylillä on voimakasta lämpöliikettä korkean taajuuden vaikutuksesta ja ne törmäävät toisiinsa ionisoidakseen molekyylinsä ja tuottaen sitten SiNx:ää.
IKS PVD-yritys, koristepinnoituskone, työkalujen päällystyskone, DLC-pinnoituskone, optinen päällystyskone, PVD-tyhjiöpinnoituslinja, avaimet käteen -projekti on saatavilla. Ota meihin yhteyttä nyt, sähköposti: iks.pvd@foxmail.com