Miten ratkaista filamentin epätasaisuuden ongelma Magnetron-sputteroinnissa?

1. Varmista, että magneettikentän yhtenäisyys ja suunta ovat mahdollisimman suuret muodostamaan suhteellisen tasaisen magneettikentän.

2. Varmista ylemmän ja alemman paineen yhdenmukaisuus, tyhjiökammio on suunniteltava tyhjiöpumpun asennusasennon, prosessikaasunoton tilan ja prosessikaasuputkien asettelun mukaan.

3. Koska magneettikenttä ja ilmanpaine eivät ole ehdottomasti ihanteellisia, ilmanpaineen epätasaisuutta voidaan käyttää epätasaisen magneettikentän kompensoimiseen ja lopullisen kalvon yhtenäiseksi tekemiseksi.

4. Tavoitteen ja substraatin välinen etäisyys on myös tärkeä tekijä, joka vaikuttaa kalvon yhtenäisyyteen.