Esittele Mass Flow Controller
Jan 31, 2018| Massavirtaohjainta (MFC) käytetään kaasun massavirtauksen tarkkaan mittaukseen ja hallintaan. Se koostuu yleensä virtausanturista, virtauksen säätöventtiilistä, vahvistimen ohjauspiiristä ja shuntin ohjauskanavasta. Sen työtehon syöttö ja virtausnäyttö ja säätötoimet tukevalla virtausnäytön virtalähteellä.
Käyttö ja ominaisuudet
MFC: llä on tärkeä rooli tieteellisessä tutkimuksessa ja tuotannossa monilla aloilla, kuten puolijohdemikroelektroniikkateollisuudessa, erikoismateriaalien kehittämisessä, kemianteollisuudessa, öljyteollisuudessa, lääketieteessä, ympäristönsuojelussa ja tyhjiössä.
Tyypillisiin sovelluksiin kuuluvat: Elektroniset prosessilaitteet kuten diffuusio, hapettuminen, epitaxi, CVD, plasmasyövytys, sputterointi, ionien istuttaminen; ja tyhjiö päällystyslaitteet, kaasukromatografiat ja muut analyyttiset välineet.
Massavirtaohjain ja massavirtausmittari, jolla on korkea tarkkuus, hyvä toistettavuus, nopea vasteaika, pehmeä käynnistys, vakaa ja luotettava työskentelypainealue (joka voi toimia korkean paineen tai tyhjiöolosuhteissa), toiminta on helppokäyttöinen. MFC voidaan asentaa mihin tahansa asentoon ja se on kytketty tietokoneeseen automaattisen ohjauksen toteuttamiseksi.
Virtausmittari on yleensä jaettu seuraaviin tyyppeihin:
1. Volumetrinen virtausmittari
Se käyttää mekaanista mittauselementtiä jatkuvasti jakamaan neste yhdeksi tunnetuksi tilavuusosaksi. Nesteen tilavuusvirta mitataan sen mukaan, kuinka monta kertaa nesteen tilavuus on täytetty ja poistettu yksi kerrallaan peräkkäin mittauskammiosta.
2. Float-virtausmittari (roottorin virtausmittari)
Float-virtausmittari on eräänlainen vaihtelevan alueen virtausmittari, pystysuorassa kartiossa alhaalta ylöspäin, kelluvan gravitaation pyöreä poikkileikkaus on nestemäisen voiman tukema, niin että uimuri voi olla vapaassa kartiossa Nousu ja lasku.
3. Paine-eron virtausmittari
Se perustuu putken asennetun virtausanturin tuottaman paine-eron, tunnetun nesteen tilaan ja mittariin putken ja putken välisen virtauksen laskemiseksi.
4. Vortex katu virtausmittari (VSF)
Ei-virtaviivaisen pyörteen generaattori asetetaan nesteeseen ja neste vuorotellen erotetaan generaattorikappaleen molemmilta puolilta kahden sarjan säännöllisesti lomitetun pyörre-instrumentin vapauttamiseksi.
5. Turbiinin virtausmittari
Se on tärkein nopeusvirtamittarin tyyppi. Se käyttää monilevyn roottoria (turbiini) tunnistamaan nesteen keskimääräinen nopeus ja päättää virtauksen tilavuuden tai kokonaismäärän välineestä.
6. Ultraäänivirtausmittari
Se on virtauksen mittaus mittaamalla nestevirtauksen vaikutusta ultraäänipuun (tai ultraäänipulssin) vaikutukseen.
7. Sähkömagneettinen virtausmittari
Sähkömagneettinen virtausmittari on eräänlainen väline nesteen johtokyvyn mittaamiseen Faradayn sähkömagneettisen induktion lain mukaan.
8. Lämpömassavirtausmittari
Terminen virtausmittarin anturi sisältää kaksi tunnistuselementtiä, nopeusanturin ja lämpötila-anturin. Ne voivat automaattisesti kompensoida ja kalibroida kaasun lämpötilan muutoksen. Instrumentin sähkölämmitysosa lämmitti nopeusanturin tiettyyn arvoon, joka oli korkeampi kuin työskentelyolosuhteiden lämpötila, niin että nopeusanturin ja anturin välinen vakioerotila syntyi työlämpötilassa. Kun lämpötilaeroa pidetään vakiona, sähkölämmityksellä kulutettu energia on verrannollinen kaasun virtauksen massavirtaan ja sopii yksittäisen kaasun mittaamiseen ja monikomponenttikaasun kiinteään osuuteen.
