Ioni-injektio
Dec 07, 2019| Ioni-injektio
Ionisäde, jonka energia on 5 ~ 500 keV, pommittaa suoraan työkappaleen pintaa. Koska ionienergia on melko suuri, ionit voivat porata käsitellyn työkappaleen pintakerrokseen, muuttaa pintakerroksen kemiallista koostumusta ja siten muuttaa työkappaleen pintakerroksen mekaanisia ja fysikaalisia ominaisuuksia.
Tätä menetelmää ei rajoita lämpötila, mikä elementti ja hiukkaskoko ruiskutetaan, ja se voi injektoida erilaisia ioneja (kuten fosforia, typpeä, hiiltä jne.) Erilaisten vaatimusten mukaisesti. Ruiskutetulla pintaelementillä on hyvä tasaisuus, korkea puhtaus ja ruiskutetun viljan määrää ja syvyyttä voidaan hallita, mutta laitekustannukset ovat korkeat, kustannukset korkeat ja tuottavuus alhainen.
IKS PVD elektronisäteen optinen päällystyskone ， IKS-OPT2700, Lisätietoja, tervetuloa yhteyttä iks.pvd@foxmail.com