Öljyn diffuusiopumpun tyhjiöjärjestelmän tärkeimmät ongelmat

Öljyn diffuusiopumpun tyhjiöjärjestelmän tärkeimmät ongelmat

Öljyn diffuusiopumpun tyhjiöjärjestelmän pilaavat lähteet:
1) öljyhöyryn takaisinvirtaus diffuusiopumpussa. Tämä on merkittävin saastumisen lähde.
(2) Järjestelmän osia on pidettävä kädessä öljyn kanssa kokoonpanon aikana. Käytä rasvaisia käsineitä, koska tahmeat orgaaniset molekyylit voivat saastuttaa järjestelmän.
3) öljyn takaisinvirtaus edellisen vaiheen öljytiivisteen mekaanisessa pumpussa. Tämä ongelma on myös erittäin vakava, kun tulopaine on suurempi, siirtymävyöhykkeen (1 ~ 10-1Pa) paineessa mekaaninen pumpun öljyhöyry voi päästä suoraan diffuusiopumppuun, mikä saastuttaa järjestelmän suoraan. Suuri osa tyhjiöprosessin saasteista tulee mekaanisesta pumpun paluusta. Kun mekaaninen pumppu pysäytetään, jos ilmakehää ei laiteta pumppuun ajoissa, mekaaninen pumppuöljy voidaan palauttaa suoraan diffuusiopumpun öljyvuokaan. Kun diffuusiopumppu käynnistetään, järjestelmän saastuminen on vakavampaa.
4) pakokaasujärjestelmään päästävien tiivistysmateriaalien vapautumisesta aiheutuva pilaantuminen. Erityisesti keinotekoiset kumitiivisterenkaat, tiivistysrasva, voiteluöljy jne., Aiheuttavat myös vakavaa saastumista.
(5) Kun pumppu pysäytetään ja ilmakehä vapautuu, tyhjiöosat ovat juuttuneet vesihöyryyn ja lampblackiin ilmassa, mikä aiheuttaa tyhjiöjärjestelmän saastumista

IKS PVD -yritys, koristeellinen pinnoitekone, työkalujen pinnoitekone, DLC-pinnoitekone, optinen pinnoitekone, PVD-tyhjiöpinnoituslinja, avaimet käteen -projekti on käytettävissä. Ota yhteyttä nyt, Sähköposti:iks.pvd@foxmail.com