Kryogeenisen pumpun käyttöön on kiinnitettävä huomiota
Feb 26, 2021| Kryogeenisen pumpun käyttöön on kiinnitettävä huomiota
Kryogeenisen pumppuportin lämpökuorman vaikutus
Kryogeenisen pumpun populaatioesteen lämpökuorma lasketaan yleensä 300 000 kaasun mukaan. Jos kryogeenisen pumpun tulolämpötila on liian korkea, lämmönlähteen suojaksi on otettava käyttöön joitakin menetelmiä. Muussa tapauksessa sisääntulon lämpötila voi olla yli 100 000, mikä vaikuttaa suoraan adsorptiojärjestelmän lämpötilaan ja vaikuttaa kaapattuun kaasuun.2. Äkillisen sähkökatkon vaikutus kryogeenisen pumpun toimintaan
Kryogeenisen pumpun jatkuvan käytön aikana heliumin aktiivihiilen adsorptio on kyllästetty. Jos sähkökatkos tapahtuu lyhyen aikaa, heliumkaasu vapautuu adsorptiojärjestelmän rekyylien myötä. Vesihöyry myös desordoituu sekundaarista kylmästä näytöstä ja hämmentää ja adsorptiojärjestelmä adsorptiojärjestelmää. Tässä tapauksessa kryogeeninen pumppu tarvitsee regeneratiivista hoitoa.
3. Heliumin puhtaus matalan lämpötilan järjestelmän kokoonpanopuhdistus
Heliumpuhdistus on täytettävä erittäin puhtaalla argonilla, joka vaatii 99,999%. Neon on yleisin epäpuhtaus, joka voi tiivistyä primaari- ja sekundaarisen jäähdytyspääontelon matalan lämpötilan pinnalle, mikä johtaa tiivisteen kulumiseen. Heliumpainikkeen huollon aikana on kiinnitettävä erityistä huomiota heliumin täyttömenetelmään, eikä ilmaa saa tuoda sisään, muuten putkisto tukkeu.
4. Öljysumun vaikutus kryogeeniseen pumppuun
Kryogeeninen pumpun käyttö, jos tyhjiökammiossa on öljysumukaasun lähdettä, se saastuttaa adsorptiomatriisin aktiivihiilen niin, että se menettää pumppauskapasiteettinsa. Kryogeenisen pumpun regeneraatiossa on myös tarpeen estää aktiivihiilen öljysaaste.
5. Poista vaaralliset kaasut
Kryogeenista pumppua ei saa käyttää vaarallisen kaasun poistamiseen talteenoton jälkeen, vapautumiseen regeneroinnin yhteydessä, ympäristön ja henkilökohtaisen turvallisuuden vaarantamiseen.
6. Matalan lämpötilan järjestelmän varoventtiili
Kun kryogeeninen pumppu regeneroituu, kaapattu kaasu vapautuu joskus välittömästi lämpötilan nousun vuoksi, mikä aiheuttaa paineennousun kryogeenisessä pumppukammiossa ja vaarantaa pumpun turvallisuuden. Tätä varten kryogeeninen pumppu on asennettava varoventtiilillä, jotta ilma vapautuisi ylipaineen aikana. Varoventtiili on tarkastettava säännöllisesti. Suurilla tyhjiöjärjestelmillä ja kryogeenisillä pumpuilla on joskus korkea asennuskorkeus. Käyttäjien ei ole helppo käyttää, ja turvaventtiilin luotettavuuteen olisi kiinnitettävä enemmän huomiota, muuten se aiheuttaa suuria onnettomuuksia.
IKS PVD -yritys, koristepinnoitekone, työkalujen pinnoitekone, optinen pinnoitekone, PVD-tyhjiöpinnoitelinja. Ota yhteyttä nyt, Sähköposti: iks.pvd@foxmail.com