Plasma puhdistus
Jul 05, 2018|
Plasma puhdistus tarkoittaa plasma perinteisiä puhdistusmenetelmiä voi saavuttaa tulosten saavuttamiseksi. Plasma on valtion asia, jota kutsutaan myös neljäs valtion asia, joka ei kuulu yhteisen kolmen tilan kiinteä, neste ja kaasu. Tarpeeksi energiaa sovellettavat kaasu ionisoitua se tuli plasma.
Plasma ”aktiivisia” ainesosia ovat ioneja, elektroneja, atomien, reaktiivinen ryhmät, nuklidit innoissaan state (etäpesäke state), fotonit ja niin edelleen. Plasma puhdistus viittaa hoitoon näytteen pinta käyttämällä ominaisuudet nämä aktiiviset komponentit saavuttamiseksi puhdistus ja pinnoite. Työkappaleen pinta on käsitelty kemiallista tai fysikaalista toiminta epäpuhtauksien poisto molekyylitasolla, mikä parantaa työkappaleen pinta-aktiivisuus. Epäpuhtauksia, jotka poistetaan voivat sisältää orgaanista ainesta, epoksihartsi, fotoresistillä, typen, microparticle epäpuhtauksia, jne., joten plasma puhdistus on erittäin tarkka puhdistus. Eri epäpuhtauksien on käytettävä eri puhdistus prosesseja. Yleisesti ottaen plasma puhdistus on luokiteltu kemikaalilla, fyysinen puhdistus ja fyysinen kemiallisia puhdistus riippuen valitun prosessin kaasu.
