PECVD:n tärkein sedimenttiprosessi
Oct 18, 2024| PECVD:n tärkein sedimenttiprosessi
Perinteisiin AP-CVD- ja LP-CVD-laitteisiin verrattuna PE-CVD-laitteista on tullut laajimmin käytetty laitetyyppi sirujen valmistuksessa ohutkalvopinnoitusprosessissa. CVD-teknologialla on keskeinen rooli monilla aloilla joustavuutensa ja tehokkuutensa ansiosta erilaisten materiaalien ja kalvojen valmistuksessa. Ohutkalvopinnoitus: CVD:tä käytetään kerrostamaan erilaisia ohuita kalvoja, kuten amorfista piitä, polypiitä, piinitridia (Si3N4), piidioksidia (SiO2) jne. Ledit ja laserit: CVD:tä käytetään III-V puolijohdemateriaalien valmistukseen ledeihin ja laserit, kuten galliumnitridi (GaN) ja galliumarsenidi (GaAs). Aurinkosähkökennot: Aurinkokennojen valmistuksessa CVD:tä käytetään ohuiden kalvojen, kuten piiohutkalvojen ja sinkkioksidin (ZnO) kerrostamiseen valosähköisen muunnostehokkuuden parantamiseksi. Kulutusta kestävät pinnoitteet: CVD:tä käytetään erittäin kovien pinnoitteiden, kuten timantti- ja kuutioboorinitridin (c-BN), pinnoittamiseen työkalujen, muottien ja mekaanisten osien kulutuskestävyyden ja käyttöiän parantamiseksi. Korroosionkestävät pinnoitteet: CVD:llä voidaan levittää korroosionkestäviä pinnoitteita, kuten titaaninitridi (TiN) ja titaanikarbidi (TiC), suojaamaan metallipintoja korroosiolta. Heijastuksenestopinnoite: CVD:tä käytetään heijastuksenestopinnoitteen valmistukseen optisten komponenttien pinnan heijastuksen vähentämiseksi ja optisen suorituskyvyn parantamiseksi. Suodattimet ja aaltoputket: Optisessa viestinnässä CVD:tä käytetään laitteiden, kuten suodattimien ja aaltoputkien, valmistukseen signaalinsiirron tehokkuuden parantamiseksi. Bioyhteensopivat pinnoitteet: CVD-tekniikkaa käytetään bioyhteensopivien pinnoitteiden, kuten titaaninitridin ja zirkoniumoksidin (ZrO2) kerrostamiseen lääkinnällisten laitteiden ja implanttien pinnalle bioyhteensopivuuden ja kestävyyden parantamiseksi. Mikroelektromekaaniset järjestelmät (MEMS): CVD:tä käytetään rakennemateriaalien ja toiminnallisten kalvojen, kuten polypiin ja piinitridin, valmistukseen MEMS-laitteissa.
IKS PVD-yritys, koristepinnoituskone, työkalujen päällystyskone, DLC-pinnoituskone, optinen päällystyskone, PVD-tyhjiöpinnoituslinja, avaimet käteen -projekti on saatavilla. Ota meihin yhteyttä nyt, sähköposti: iks.pvd@foxmail.com