Tyhjiöjärjestelmän tyyppi
Sep 25, 2023| Tyhjiöjärjestelmän tyyppi
Järjestelmää, jota käytetään tietyn prosessivaatimuksen täyttämiseen ja jolla voidaan saavuttaa ja mitata tietty vaadittu tyhjiöaste, kutsutaan tyhjiöjärjestelmäksi.
Täydellisempi tyhjiöjärjestelmä koostuu alipainekammiosta, tarvittavasta tyhjiöpumpusta tai tyhjiöyksiköstä, alipainemittauslaitteesta, liitäntäputkesta, tyhjiöventtiilistä, erottimesta ja muista tyhjiökomponenteista sekä sähköisestä ohjausjärjestelmästä. Kuvat 5-1 ja 5-2 esittävät tyypillisen tyhjiöjärjestelmän.
▲ Kuva 5-1 Tyypillinen tyhjiöjärjestelmän periaate Kuva 1: 1- Tyhjiökammion tuuletusventtiili 2- ionisaatiotyhjiömittari 3- Termoparin tyhjiömittari 4- virtauksensäätöventtiili {{6 }} Korkeatyhjiöventtiili 6- diffuusiopumppu 7- Kaasusäiliö 8- Termoparimittari (mittaa diffuusiopumpun etupaine) 9- etuimuventtiili 10- paineanturi {{ 12}} esiimuventtiili 12- Varren tyhjiöpumppu 13- ohitusventtiili 14- sähkömagneettinen tuuletusventtiili 15- Mekaaninen tyhjiöpumppu
Kuva 5-2 Tyypillinen tyhjiöjärjestelmän kaavio 2:1 - Tyhjiökammio 2- ionisaatiotyhjiömittari 3- Lämpöparin tyhjiömittari 4- tyhjennysventtiili 5- korkea alipaine venttiili 6- kylmälukko 7- diffuusiopumppu 8- etuimuventtiili 9- sähkömagneettinen tyhjennysventtiili 10- mekaaninen tyhjiöpumppu 11- esiilmaventtiili
IKS PVD-yritys, koristepinnoituskone, työkalujen päällystyskone, DLC-pinnoituskone, optinen päällystyskone, PVD-tyhjiöpinnoituslinja, avaimet käteen -projekti on saatavilla. Ota meihin yhteyttä nyt, sähköposti: iks.pvd@foxmail.com