Ultrakorkea tyhjiöpumppusarja
Oct 13, 2023| Ultrakorkea tyhjiöpumppusarja
Ultrakorkea alipaineyksikkö toimii erittäin korkealla tyhjiöpainealueella 10-6 ~ 10-10Pa, sen lisäksi, että tyhjökammion materiaalilla on erittäin alhainen kaasun ulostulonopeus, erittäin pieni kaasuvuotonopeus ja kestää 200 ~ 450 astetta korkean lämpötilan paistamista, yksikön vaatimukset sisältävät myös:
(1) pääpumpun lopullisen alipaineasteen tulee olla korkea, vähintään 10-7 ~ 10-8Pa korkeampi;
(2) Pääpumpulla on tietty pumppausnopeus erittäin korkean tyhjiön työpainealueella;
(3) Yksikön pääpumppu tai pääpumpun ilmanottoaukon yläpuolella oleva osa kestää korkean lämpötilan 200–450 astetta;
(4) Takaisinvirtauskaasun (mukaan lukien käyttönestehöyry ja erotettu kaasu) osapaineen autonomiseen pumppuun tulee olla riittävän alhainen;
(5) Pääpumppu, jolla on vahva pumpattavan kaasun selektiivisyys, tulee varustaa riittävän suurella apupumpulla;
(6) Putket, venttiilit ja muut komponentit yksikön pääpumpun imuaukon yläpuolella, materiaalien valinnassa ja tiivistämisessä tulee olla erityisen huolellinen. Yleensä käytetään ruostumatonta terästä, jolla on alhainen kaasuntuottonopeus ja metallitiivisterakenne sekä tiivistemateriaaleja.
IKS PVD-yritys, koristepinnoituskone, työkalujen päällystyskone, DLC-pinnoituskone, optinen päällystyskone, PVD-tyhjiöpinnoituslinja, avaimet käteen -projekti on saatavilla. Ota meihin yhteyttä nyt, sähköposti: iks.pvd@foxmail.com


