Tyhjiöpumpun pumppausnopeus ja tyhjiöyksikön kokoonpano! Ehdottomasti käytännöllinen.

Tyhjiöpumpun pumppausnopeus ja tyhjiöyksikön kokoonpano! Ehdottomasti käytännöllinen.

Eri tyhjiöjärjestelmät vaativat eri asteisia tyhjiöitä. Siksi on usein välttämätöntä täydentää tyhjiöyksiköiden joukko, toisin sanoen työskentelemällä eri paine-alueella tyhjiöpumpuilla, jotka on kytketty toisiinsa.

Korkean alipaineen puolella oleva tyhjöpumppu voi saavuttaa vaaditun tyhjiöasteen järjestelmässä, kun taas tyhjiöpumppu matalan tyhjiön puolella poistuu suoraan ilmakehään. Ilmeisesti yksinkertaisin tyhjiöyksikkö on tyhjiöpumppu, joka kulkee suoraan ilmakehään. Korkea tyhjiöjärjestelmä vaatii kuitenkin yleensä kolmivaiheisen yksikön, ja keskimmäinen tyhjiöjärjestelmä vaatii yleensä kaksivaiheisen yksikön.

Korkean tyhjiöpumpun ja matalan tyhjöpumpun on vaikeaa muodostaa tehokas korkean tyhjiöyksikkö. Tähän on useita syitä. Virtauksen jatkuvuus on yksi niistä. Korkean tyhjöpumpun etupuolen paine on rajoitettu, eli etupiste on korkeampi kuin tietty paine, pumppu ei voi toimia normaalisti. Kun nykyinen vaihepumppu saavuttaa tämän kriittisen paineen, pumppausnopeus laskee usein, joten entisen vaihepumpun pakokaasuvirta voi olla pienempi kuin pääpumpun pakokaasuvirtaus, epäjohdonmukainen virtaus tuhosi virtauksen jatkuvuuden vaatimukset, väistämättä aiheuttaa, että tyhjiöyksikkö ei toimi oikein. Mutta jos korkea- ja matala-tyhjiöpumppu on kytketty keskimmäiseen tyhjiöpumppuun, se voi olla yhdistävä rooli, jatkuva virtaus ja jokainen pumppu voi toimia parhaassa tilassa. Roots pumppu voi työskennellä tyhjiöalueella, on sopivin, joten tunnetaan myös nimellä juurien tehostepumppu, koska sen puristussuhde ei ole korkea, vain voidaan kytkeä muutamaan Pa: aan muutamaan sataan Pa-alueeseen. Kun kolmivaiheinen korkean tyhjiöyksikkö menee korkeampaan tyhjöasteeseen, pääpumpun pakokaasuvirtaus on ilmeisesti pienentynyt, ja tällä hetkellä vain pienempi etupumppu voi ylläpitää ilmanpoiston jatkuvuutta, jota käytetään usein käytännössä, jotta yksikön energiankulutus vähenisi.

Toinen syy, miksi suuri tyhjiöyksikkö vaatii usein kolmivaiheisen yksikön, johtuu korkean tyhjiöpumpun imupaineen rajoittamisesta. Kaikilla pumpuilla on alkupaine ja tavanomaiset suurtyhjiöpumput ovat välillä useita Pa. Siksi esipumppu täytyy pumpata pääpumpun paineeseen työn aloittamiseksi. Mutta suoran linjan taso ennen pumppaamista ilmakehän paineeseen vaatii usein pitkän aikaa, koska paineena pumpun pumppausnopeuden vähentämiseksi vähentäen, erityisesti jaksollisen tyhjiöimulaitteen osalta, täyttämään tyhjiöasteen vaatimukset. työaika on, sitä pidempään tupakoit, myös pidempi aika tyhjiön työvaiheessa, mikä nostaa taichungia alhaisella tasolla ennen tyhjiöpumppua, tyhjiöpumppu voi saavuttaa suhteellisen lyhyessä ajassa. jotta voimme tehdä järjestelmän mahdollisimman nopeasti työpaineeksi, taata laitteiden tehokkuus.

Sekä juuripumppua että öljypumppua voidaan käyttää keskipölynimuripumpuna. Molekyylikompressoripumpulla on erittäin korkea puristussuhde, joka ei ainoastaan salli puhdasta tyhjiötä, vaan sillä on myös erinomainen korkean tyhjiön suorituskyky. Samalla siinä on myös super pumppauskapasiteetti keskellä olevassa tyhjiöalueessa. Tämä tekee molekyylin tehostepumpusta tällä hetkellä ainoan tyhjiöpumpun, jossa on keskikokoinen ja korkea tyhjiö, joten vain alhaisen tyhjiöpumpun kanssa on tehtävä yhteistyötä, joka voi olla kolmivaiheisen korkean tyhjiöyksikön kaltainen. Tarkemmin sanottuna, koska molekulaarisen tehostepumpun korkea paine voi siten tehdä entisen pumpun helposti suuressa virtaustilassa; Ja molekyylikompressoripumpun imu korkeapaine, vähentää pumpun esipumppausta. Molekulaarinen tehostepumppu voi toimia 100 - 50pa, paine ilmakehästä pumpun ensimmäiseen vaiheeseen, periaatteessa jokaisen aikapaineen lain mukaan suuruusluokkaa kohti, joten yksiköllä voi olla korkea uuttotehokkuus. Korkean tyhjiöyksikön yksinkertaistaminen ja juuripumpun peruuttaminen on toinen molekyylivahvistinpumpun etu. Suurempien suurtyhjölaitteiden osalta etupumpun pumpun esipumppauskapasiteetti voidaan asianmukaisesti vahvistaa pumppausajan lyhentämiseksi. Koska esipumppausaika on hyvin lyhyt verrattuna koko pakokaasuprosessiin, myös etupaneelin pumpun käyttöaika on hyvin lyhyt, joten se voi kaksinkertaistaa useiden laitteistojen esipumppaustoiminnon, joka on usein hyvin realistinen. Tämä tekee tyhjiöyksikön laajamittaisen käytön huomattavasti yksinkertaistetuksi.

Joissakin keskisuurissa tyhjiösovelluksissa on välttämätöntä syöttää alue 10-1pa, joka on usein vaikea toteuttaa juuripumpun toissijaisten yksiköiden kohdalla, ja juuripumpun kanssa yhdistettyjen toissijaisten yksiköiden käyttö voi parantaa tyhjiöastetta. suuruusluokkaa ja kirjoita 10-1pa, joten tyhjiön käyttöä käytetään yleisesti myös tertiäärisissä yksiköissä. Koska molekulaarinen tehostepumppu voidaan pumpata täysin 10-1paineella, se voi myös korvata kaksivaiheisen juuripumpun kolmivaiheisessa keskipölynimuriyksikössä. Yleensä juuripumpun matalapainealueen tyhjiössä työskentely pitkään, molekyylikompressoripumppu voidaan korvata kokonaan. Pitkä aika juuripumpun korkean tyhjiöpaine-alueen työskentelyssä pitäisi olla suhteellisen pieni, koska tällä paine-alueella ennen pumppua on usein voimakas pumppausnopeus.

Kysymys PVD: n tyhjiöpäällystyskoneesta, ota yhteyttä meihin nyt, iks.pvd@foxmail.com