Elektronisuihkun haihdutusjärjestelmät

Elektronipalkki ja lämpöhaihdutusjärjestelmät. Planeetta tai yksinkertaisia pyörimisvaiheita voivat olla lämmitys yli 950 ° C: n lämpötilaan substraatin koosta ja materiaalista riippuen. Ion-lähteet IBAD: lle ja substraatin esipuhdistus voidaan integroida myös järjestelmään. Höyrystysjärjestelmissä on täydelliset pumppuasemat, käsikäyttöiset tai sähköpneumaattiset venttiilit, kaikki tyhjiömittarit, tehonsyöttölaatikot, sähköiset telineet, veden ja ilman jakotukit sekä turvalukot. Järjestelmää voidaan käyttää manuaalisesti tai tietokoneohjauksella. Substraattilämmittimet ja manipulaattorit voidaan suunnitella epätyypillisiksi substraatin muotoiksi ja kokoluokiksi. Sovelluksiin kuuluvat perusaineistotutkimus, SAW-laitteet, piin ja GaAs-kiekkometallisointi, MEMS- tai näyttötekniikka ja paljon muuta.

Saatavilla on monia järjestelmävaihtoehtoja, mukaan lukien laaja valikoima elektronisuihkuja ja lämpölähteitä, virtalähteitä, ionisäteen tai magnetronin sputter-lähteiden, RGA: n, UHV-ominaisuuksien, monikierukkavaunujen ja in situ -monitoreiden integrointia.