PVD-pinnoituslaitteiden ympäristövaatimus

Koska tyhjömaalauslaite toimii tyhjiössä, laitteiston on täytettävä tyhjiön ympäristövaatimukset .

Tyhjiöpinnoitekoneiden (mukaan lukien yleiset tekniset eritelmät tyhjöpäällystyslaitteet, tyhjiö-ionieristyslaitteet , tyhjösuihkutuspäällystyslaitteistot ja tyhjöhaihdutuspäällystyslaitteet) määritellyt teollisuusstandardit kaikki asettavat selkeät ympäristövaatimukset. Ainoastaan tyhjiöpinnoituslaitteiden ympäristövaatimusten täyttäminen voi tuottaa hyviä PVD-pinnoitteita.

Tyhjiöympäristön vaatimukset, mukaan lukien tyhjiölaitteiden vaatimukset laboratorion (tai korjaamon) ympäristössä, jossa tyhjölaite sijaitsee, kuten lämpötila ja hiukkaset ilmassa. Sen lisäksi, että komponentit tai pinta altistuvat tyhjiössä tai tyhjiössä. Nämä kaksi näkökohtaa liittyvät läheisesti toisiinsa. Ympäröivän ympäristön laatu vaikuttaa suoraan tyhjiölaitteiden normaaliin käyttöön ja tyhjiökammiossa tai kammion osissa on puhdas tai ei ole suora vaikutus laitteen suorituskykyyn. Jos ilma sisältää paljon vesihöyryä ja pölyä, jos tyhjökammio ei ole puhdas, se ei ole pumppaamaan ilmaa, joka voi syövyttää metallia, reagoida tyhjiööljyn kanssa tai sisältää pölyhiukkasia. Vesihöyry on eräänlainen kondensoituva kaasu, kun suuria määriä kondensoitavaa kaasua uutetaan, pumppuöljyn saastuminen on vakavampi. Tämän seurauksena pumpun lopullinen tyhjiö vähenee ja sen jälkeen se heikentää pumpun pumppauskykyä.

Pölyä teollisissa ympäristöissä erotetaan jauhe, aerosoli ja pöly. Jauhe tarkoittaa kokoelma jauheita tai kiinteitä hiukkasia. Aerosoli on materiaalijärjestelmä, joka kelluu ilmassa kiinteiden tai nestemäisten molekyylien muodossa. Riippumatta siitä, onko materiaali kiinteä vai nestemäinen, hiukkasia voidaan kutsua yhteisesti pölyhiukkasiksi. Ilmanpuhdistuksen taso määräytyy pölyhiukkasten koon mukaan ja mukauttaa puhtaan huoneen tason.

Tavalliset tyhjiöpinnoituslaitteiden olosuhteet, mukaan lukien:

1. Ympäristön lämpötila: 10 ~ 30 ℃

2. Suhteellinen kosteus ≤ 70%

3. Jäähdytysveden sisääntulolämpötila on enintään 25 ℃

4. Jäähdytysvesi on kaupungin vesijohtovettä tai vastaavaa vettä.

5. Syöttöjännite on 380V, kolmivaiheinen 50Hz tai 220V, yksivaiheinen 50Hz (määräytyy sähkölaitteiden toimesta), jännite vaihteluväli on 342V ~ 399V tai 198V ~ 231V, taajuuden vaihteluväli on 49 ~ 51Hz .

6. Tuotteen käsikirjassa on ilmoitettava pakollinen paineilma, nestemäinen typpi, kuuma ja kylmä vesi, lämpötila ja laitteiden kulutus.

7. Ympäristön tulee olla puhdas ja siisti, ilman ei saa sisältää pölyä tai kaasua, joka voi aiheuttaa korroosiota sähkölaitteiden ja muiden metallien osien pinnalle tai aiheuttaa metallisten osien sähkönjohtokykyä.

Lisäksi laboratoriossa tai työpaja, jossa tyhjiölaite sijaitsee, on oltava puhdas terrazzo- tai puumaalikerroksella. Jotta estettäisiin mekaanisen pumppuilun aiheuttama kaasu, joka saastuttaisi laboratorioympäristön, pakoputki (metalli- ja kumiputki) olisi asennettava pumpun poistoilmapiiriin kaasun poistamiseksi huoneesta.