Magnetronin sputterointiprosessin parametrien vaikutus -N2 virtausnopeus
Sep 03, 2024| Magnetronisputterointiprosessin parametrien vaikutus -N2 virtausnopeus
(Cr,Ti,Al)N-kvaternaaripinnoitteen kemiallista koostumusta, mikrorakennetta ja erilaisia ominaisuuksia voidaan säätää muuttamalla N2-virtausnopeutta. Tutkijat havaitsivat, että N2-virran kasvaessa myös (Cr,Ti,Al)N-pinnoitteen N-pitoisuus ja nitridikovafaasipitoisuus kasvavat sekä pinnoitteen kovuus, kimmomoduuli, kantavuus ja kalvopohjan sidosvoima. pinnoite kasvaa myös vastaavasti, mikä voi tehokkaasti vähentää pinnoitteen pinnan karheutta, kitkakerrointa ja kulumisnopeutta. Parantaa merkittävästi pinnoitteen kulutuskestävyyttä [57-58]. N2-virran lisääntyessä sputterointipaine kuitenkin kasvaa, ionien keskimääräinen vapaa reitti pienenee ja ionien energiahäviö kasvaa, mikä vaikuttaa pinnoitteen kiteytymisen laatuun ja kalvonmuodostusrakenteeseen, mikä johtaa pinnoitteen kovuus [59]. Tutkijat havaitsivat myös, että N2-virtauksen kasvaessa (Cr,Ti,Al)N-kvaternääristen pinnoitteiden kerrostumisnopeus osoitti suuntausta, joka ensin kasvoi ja sitten pieneni [60]. Tämä johtuu siitä, että N2:n virtausnopeuden lisääminen lisää kohdehiukkasten reaktioastetta N2:n kanssa ja lisää siten pinnoitteen kerrostumisnopeutta. N2:n virtausnopeuden kasvu kuitenkin lisää myös sputterointipainetta ja hiukkassäteen sirontavaikutus (mukaan lukien kohdetta pommittavat sputterointihiukkaset ja kalvon muodostavalle pinnalle kerrostuneet hiukkaset) kasvaa, mikä johtaa hiukkassäteen hajoamiseen. Saostuneet hiukkaset saavuttavat substraatin pinnan aikayksikössä, joten myös pinnoitteen kerrostumisnopeus näyttää laskevan. Lisäksi liian korkea N2:n osapaine johtaa siihen, että kohteen pinnalle muodostuu lisää nitridifaaseja, mikä lisää kohteen myrkytysastetta, mikä vaikuttaa myös pinnoitteen kerrostumisnopeuteen.
IKS PVD-yritys, koristepinnoituskone, työkalujen päällystyskone, DLC-pinnoituskone, optinen päällystyskone, PVD-tyhjiöpinnoituslinja, avaimet käteen -projekti on saatavilla. Ota meihin yhteyttä nyt, sähköposti: iks.pvd@foxmail.com