Molekyylipumpun rakenne ja kaavamalli

Molekyöpumpun ydinkomponentit ovat pyörivät terät ja kiinteät terät (kuva 1). Pyörivän terän pyörimisnopeus saavuttaa 1800 - 90000 rpm, nopeus terän kärjessä saavuttaa useita satoja metrejä sekunnissa, mikä on lähellä molekyylin keskimääräistä nopeutta. Ja kaasumolekyylit kuljetetaan pakokaasuputkeen törmäyksessä sen kanssa. Kun pyörivä terä, joka on asetettu olemaan vähitellen pyörivä suurella nopeudella, kaasumolekyylien todennäköisyys siirtymään imupuolelta pakopuolelle on A ja todennäköisyys, että kaasumolekyylit siirtyvät pakopuolelta imupuolelle on B. Pyörivä terä osuu kaasumolekyyleihin, sitten kaasumolekyylit osuvat kiinteään terään ja lentävät seuraavaan pyörivään terään, lopulta kaasumolekyyli työntyy poistoputkeen, jolloin A> B saavuttaa pakokaasutoiminnon.

Molekyylipumpun pakokaasutopeus = Imuosan avautumisalue × 11.6 × A / Bp

Kaavassa p viittaa paineen nousun arvoon.

Suurempi terän kulma, sitä suurempi pakokaasun nopeus on pienempi kuin puristussuhde. Jos terän kulma on pieni, pakopuhallusnopeus on pieni ja puristussuhde on suuri. Kaasutyypin lähes ei vaikuta molekyylipumpun pakokaasunopeus ja pumpun lopullinen paine voi olla 10-8 Pa, mutta pakokaasun nopeus vähenee kevyiden molekyylien / atomien osalta.

Eräänlaisena mekaanisena pumpana, jolla on suuri pyörimisnopeus, molekyylipumppu vaatii suurta tasapainoa ja on erittäin hauras kiinteälle vieraalle aineelle. Joten tavallisesti metallisuodatin on asennettu sen tuloaukkoon. Kun molekyylipumppu toimii, terät voivat vahingoittua, jos paine heikkenee äkillisesti.

Kuva 1. Molekyylipumpun rakenne ja kaaviokuva

Perinteiset molekyylipumput käyttävät laakereita terien nopean pyörimisen varmistamiseksi. Mutta uuden tyyppinen molekyylipumppu sovittaa magneettisen levitaation rakenteen, mikä tekee terän nopeudesta jatkuvasti kasvavan ja samanaikaisesti molekyylipumppu soveltuu parhaiten ultra-korkea-tyhjiöjärjestelmään, myös se pidentää molekyylipumppu.

Verrattuna öljytiivisteisiin pyörivä siipipumppuihin ja turbo-tyyppisiin kuivapumppuihin, molekyylipumput ovat puhtaampaa työympäristöä ja voivat saavuttaa erittäin suuren tyhjötason. Molekyyppipumput eivät kuitenkaan voi toimia ilmakehän paineessa, ja niitä on käytettävä yhdessä muiden karkeiden tyhjöpumput (öljytiivisteet, pyörivä siipipumput tai turbo kuiva pumput), jotka voivat toimia ilmakehän paineessa. Molekyöpumpulla on monimutkainen rakenne ja korkea hinta, ja nopea pyöriminen on tärinää.