PVD-pinnoituslaitteiden käyttöjärjestelmä ja jäähdytysjärjestelmä
Mar 31, 2018| Ajosysteemi
Käyttöjärjestelmä sallii substraatin virrata substraatin asettamisesta laitteeseen sputteroinnin laskeutumisen estämiseksi laitteesta käsittelyn päättymisen jälkeen. Käyttöjärjestelmä koostuu ajomoottorista, vierityspyörästä, taajuusmuuttajasta ja niin edelleen. Systeemejä, jotka lisäävät käyttöjärjestelmää, ovat:
(1) Varmista, että tasaiset päällystyspinnat ovat laajalti jakautuneita.
(2) Automaattinen lähetys on helppo toteuttaa.
Jäähdytysjärjestelmä
Jäähdytysjärjestelmä koostuu pääosin kierrätysveden molekyylipumpusta, kammiosta, pumppuryhmästä ja käyttömoottorin jäähdytyskierrosvedestä. Sen tärkein tehtävä on jäähdyttää tyhjökammiota, pumppua, käyttölaitetta, virtalähdettä jne. Jäähdytysveden vaatimukset ovat:
(1) Lämpötila: 17 - 22 ° C;
(2) Paine: 2 ~ 3e0,05 Pa;
(3) Magneettiset hiukkaset on poistettava vedestä ja vesi on pehmennettävä, pH = 6 ~ 8.