Typpipaketin valinta
Jun 30, 2018| 1. Pölynimien koostumus ja luokittelu
Alipaineyksikkö koostuu yleensä seuraavista komponenteista: erilaiset tyhjöpumput, tyhjiömittauslaitteet, tyhjöventtiilit, tyhjiöputket ja jotkut muut komponentit, kuten puhaltimet, tyhjiöliitokset, kaasusäiliöt, palkeet, pölykeräimet ja tyhjiöreleet.
Yksikön käyttöpaineen mukaan on olemassa karkeita tyhjiöyksiköitä (> 1330Pa), alipaineyksiköitä (1330 - 0,13Pa), suurpakkausyksiköitä (0,13-1,3x10-6Pa), erittäin korkeajäähdytysyksiköitä (1,3x10-6 ) ~ 1,3 x 10-11 Pa) ja erittäin korkealla tyhjiöyksiköllä (<1,2 x="" 10-11="">
2. Alhainen tyhjiöyksikkö
Alhaisen tyhjiöyksikön pääpiirteitä ovat korkea käyttöpaine ja suuret siirtymät, mutta pumpunopeus on pienempi kuin korkeapaineyksikön. Sitä käytetään enimmäkseen tyhjiökammion karkealle pumppaamiselle ja joitain tyhjiöyksiköitä, jotka tarvitsevat suurta työpaineita, kuten tyhjiöpurkausyksiköt, tyhjiöpinnoitusyksiköt, tyhjöyksiköt, tyhjöpoistoyksiköt, tyhjökuivausyksiköt ja niin edelleen. Alipainemittarin pääpumput ovat usein edestakaisin tyhjiöpumput, öljysulku tyhjöpumput, vesisuihkupumput, vesihöyryn suihkupumput, vesirengaspumput, öljyhöyrypumput, molekyyliseulan adsorptiopumput ja Roots-pumput. Kun käytetään alipaineyksikköä, on myös tarpeen määrittää komponentit kuten pölynkerääjä ja kuivasuodatin prosessin vaatimusten mukaisesti pumpattavan kaasun puhtauden ja kosteuden asteen mukaan.
3. Korkea tyhjiöyksikkö
3.1 Valitse pääpumppu. Pääpumppu voi olla diffuusiopumppu, molekyylipumppu, sputteri-ionipumppu, titaanipumppu, kryogeeninen pumppu ja niin edelleen.
3.2 Valitse taustapumppu ja kaasun varastoputki (iskunvaimennus, lyhentää työvaihetta, estää suuren määrän ilmaa tyhjökammiossa ja vakauttaa diffuusiopumpun ulostulopaineen)
4. Ultra-High Vacuum Unit
Pääpumpun viimeinen tyhjiö on suuri, vuoto on alhainen ja se on kestävä paistettavaksi 200-450 ° C: ssa.
4.1 Diffuusiopumppuyksikkö: vähentää takaisinvirtausta ja hallita pilaantumista.
4.2 Molekyylipumppuyksikkö: Puristussuhde vetyyn on pieni, ja jäännöskaasu on pääasiassa vetyä.
4.3 Sputter ioni-pumppuyksikkö: Yleensä käytetään yhdessä titaanipumpun kanssa.
4.4 Kryogeeninen pumppuyksikkö: ei pilaantumista.