Tyypillinen tyhjiötyyppi
Jun 30, 2018| Järjestelmää, jota käytetään tiettyjen prosessivaatimusten täyttämiseen, joka kykenee hankkimaan ja mitattamaan vaaditun tyhjän tyhjiön, kutsutaan tyhjöjärjestelmänä. Täydellisempi tyhjöjärjestelmä koostuu tyhjökammiosta, vaaditusta tyhjöpumpusta tai tyhjiöyksiköstä, tyhjömittauslaitteesta, liitäntäjohdosta, tyhjiöventtiilistä, ansaan ja muista tyhjiökomponenteista ja sähköisestä ohjausjärjestelmästä. Tyypillinen tyhjöjärjestelmä on esitetty kuviossa 1 ja kuvassa 2.
1. Tyhjiökammioventtiili 2. Ionisointi tyhjömittari 3. Termoelementin alipainemittari 4. Virtausventtiili
5. Korkeaventtiili 6. Diffuusiopumppu 7. Kaasuvarastosäiliö
8. Termoelementin mittari (mittaa diffuusiopumpun esiportaisen paineen). 9. Tukiventtiili 10. Paineanturi
11. Esipumppausventtiili 12. Roots-tyhjöpumppu 13. Ohivirtausventtiili 14. Sähkömagneettinen vuotoventtiili
15. Mekaaninen tyhjöpumppu
Kuva 1 Kaaviokuva tyypillisestä tyhjöjärjestelmästä
1. Tyhjiökammio 2. Ionisointi tyhjömittari 3. Termoelementin tyhjömittari 4. Deflaatioventtiili
5. Korkea tyhjiöventtiili 6. Kylmäloukku 7. Diffuusiopumppu 8. Tukiventtiili 9. Sähkömagneettinen vuotoventtiili
10. Mekaaninen tyhjöpumppu 11 Esipumppuventtiili
Kuva 2 Kaaviokuva tyypillisestä tyhjöjärjestelmästä