Yhteensopivat tyhjömittarit ja ohjaimet CDG045D 0,05 ~ 1000Torr / Mbar

ESITTELY INFICON SKY CDG045D-manometrit ovat paras valinta korkean tarkan paine-eron mittaukseen ja säätöön. CDG045D-mittareita säädetään 45 ° C: n lämpötilassa, mikä parantaa signaalin stabiilisuutta ja toistettavuutta. Ne ovat saatavana täyden mittakaavassa 50 mTorr-1000 Torr ...

Lähetä kysely

Tuotteen esittely

ESITTELY

INFICON SKY CDG045D-manometrit ovat paras valinta korkean paineen mittaamiseen ja säätöön. CDG045D-mittareita säädetään 45 ° C: n lämpötilassa, mikä parantaa signaalin stabiilisuutta ja toistettavuutta. Ne ovat saatavana täyden mittakaavassa 50 mTrr: stä 1000 Torr: iin, joissa on kaikki tavanomaiset laipatyypit ja kenttäväyläliitännät ja jotka tuottavat lineaarisen 0 - 10 V: n, kaasutyyppisen riippumattoman paineilmoituksen. INFICON-kapasitanssi-manometrit käyttävät ultra-puhdasta alumiinioksidikeramiikkaa, joka on korroosiota kestävä. Keraamisen anturin edut ovat parempi signaalin stabiilisuus, nopeampi toipuminen ilmakehästä, lyhyt lämpenemisaika ja ylimääräinen käyttöikä. INFICON CDG ovat korkealaatuisia, kustannustehokkaita paineantureita vaativiin tyhjiöohjelmiin.

INFICON SKY CDG045D kapasitanssimallin mittarit ovat suoraan korvaavia Oerlikon Leybold CTR 101 -lähettimille. Hanki alkuperäiskappale valmistajalta globaalilla tuella ja ratkaisuilla kaikkiin sovelluksiin.

EDUT

◆ Täysin yhteensopiva CTR 101 -lähettimien kanssa

◆ Lower CoO (omistuskustannus), 50% nopeampi lämmitys, energiatehokas virransäästö

◆ Helppo integrointi, laaja valikoima täysi asteikkoja, laippoja ja liitäntöjä, vakio kahdella asetuspisteellä

◆ Helppo yksi painike tai kauko-signaalin nolla-komento, nollaoffset säädettävissä

◆ Diagnostinen portti nopeaan huoltoon ja ylläpitoon

◆ Kaksivuotinen takuu, pidempi käyttöikä ja edistyksellinen lämmityskonsepti ja mittarinsuojelu

◆ Ei pitkäaikaista uudelleenkalibrointia erinomaisen signaalin stabiilisuuden ja toistettavuuden ansiosta, jopa kovissa plasmasovelluksissa

◆ Vaatimustenmukaisuus ja standardit: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

TYYPILLISET SOVELLUKSET

◆ Etch, CVD, PVD ja muut puolijohdetuotantoprosessit

◆ Kemialliset ja syövyttävät alipaineprosessit

◆ Yleiset ohutkalvo- ja tyhjiöprosessit

◆ Vertailusensori testauslaitteiden valvontaan kansainvälisten standardien mukaisesti

◆ Siirrä standardi jäljitettävyyden mittauksille

SPECIFICATION

Tyyppi		1000 Torr, 1100 mbar	500 ... 1Torr / mbar	0,5 ... 0,05 Torr / mbar
tarkkuus	% lukemisesta	0,15	0,15	0,15
Lämpötilan vaikutus
nollaan	prosentti FS / ° C	0.0025	0.0025	0.0025
on span	% lukemasta / ° C	0,01	0,01	0,01
päätöslauselma	prosentti FS	0,003	0,003	0,003
Paine, max.	kPa (absoluuttinen)	400	260	130
Alin lukema	prosentti FS	0,01	0,01	0,01
Alin ehdotettu lukeminen	prosentti FS	0,05	0,05	0,05
Alin ehdotettu ohjauspaine	prosentti FS	0,5	0,5	0,5
Lämpötila
Käyttö (ympäristön)	° C	+10 ... +40	+10 ... +40	+10 ... +40
Bakeout on laippa	° C	≤110	≤110	≤110
varastointi	° C	-20 ... +65	-20 ... +65	-20 ... +65
Syöttöjännite		+14 ... +30 VDC tai ± 15 V (± 5%)	+14 ... +30 VDC tai ± 15 V (± 5%)	+14 ... +30 VDC tai ± 15 V (± 5%)
Tehon kulutus
Lämmityksen aikana	W	≤12	≤12	≤12
Käyttölämpötilassa	W	≤8	≤8	≤8
Lähtösignaali (analoginen)	V (dc)	0 ... +10	0 ... +10	0 ... +10
Vasteaika	neiti	30	30	130/30
Suojausaste		IP 40	IP 40	IP 40
Standardit
CE-vaatimustenmukaisuus		EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 & RoHS
ETL-sertifiointi		UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1	UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1	UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1
SEMI-vaatimustenmukaisuus		SEMI S2	SEMI S2	SEMI S2
Sähköliitäntä		D-sub, 15- napainen, uros	D-sub, 15- napainen, uros	D-sub, 15- napainen, uros
ohjearvo
Asetuspisteiden määrä		2 (SP1, SP2)	2 (SP1, SP2)	2 (SP1, SP2)
Relekontakti	V (DC)	≤30	≤30	≤30
hystereesi	prosentti FS	1	1	1
Diagnostiikkasatama
protokolla		232-C	232-C	232-C
Lukea		paine, tila, tunnus	paine, tila, tunnus	paine, tila, tunnus
Sarja		asetuspisteet, suodatin, nolla säätää, tehdasasetus, DC offset	asetuspisteet, suodatin, nolla säätää, tehdasasetus, DC offset	asetuspisteet, suodatin, nolla säätää, tehdasasetus, DC offset
Materiaalit, jotka ovat alttiina tyhjiö		lumiinioksidikeraaminen (AI2O3), teräksen teräs (AISI 316L)	lumiinioksidikeraaminen (A1203 ), ruostumaton teräs (AISI 316L )	lumiinioksidikeraaminen (A1203 ), ruostumaton teräs (AISI 316L )
Sisätilavuus
1/2 "putkea	cm³ (in³)	4,2 (0,26)
DN 16 ISO KF	cm³ (in³)	4,2 (0,26)
DN 16 CF-R	cm³ (in³)	4,2 (0,26)
8 VCR®	cm³ (in³)	4,2 (0,26)

Suositut Tagit: yhteensopivat tyhjiömittarit ja -ohjaimet cdg045d 0.05 ~ 1000torr / mbar, Kiina, valmistajat, toimittajat, osta, räätälöity, valmistettu Kiinassa

← Pari: VGC50x-tyhjiömittarin ohjain

Seuraava: Yhteensopivat tyhjömittarit ja ohjaimet CDG025D 0,1 ~ 1000 Torr / mbar →

Lähetä kysely

Saatat myös pitää