Suuritehoinen välitaajuus Magnetron Sputtering Power Supply
Suuritehoinen välitaajuus Magnetronin sputterointi Tehonsyöttöominaisuudet ● Suuritehoinen MF-magnetronipuhalluslähde voi toteuttaa kaaren sammutustoiminnon kohtuullisen ja nopeasti perustuen täyttävän tehon vaatimuksen. Ja virtalähde on täydellinen näyttö ...
- Tuotteen esittely
● Suuritehoinen MF-magneettisuihkutus teholähde voi toteuttaa kaaren sammutustoiminnon kohtuullisen ja nopeasti sen mukaan, täyttävätkö tehovaatimukset kokonaan. Ja virtalähteessä on täydelliset näyttö- ja suojausominaisuudet alijännitteestä, ylijännitteestä, ylikuormituksesta, ylikuumenemisesta jne. Lisäksi se voi heikentää johtamattomia kohteita ja lisätä ionisaatiokertoimen tehokkaasti voittamaan kohdunmyrkytyksen ja epänormaalin purkautumisen.
● Virtalähde käyttää kehittynyttä suurtaajuusmuuttajan virransyöttötekniikkaa ja IGBT-tehomoduulia, joka vähentää lähtöenergian tallennuselementtiä, minkä seurauksena päällystekerros on erittäin tiheä ja sileä.
● Kosketusnäytön mikrokontrollerin avulla virtalähde on erittäin integroitu ja tehokas ja helppokäyttöinen. Virran ja jännitteen näyttö on erittäin selkeä ja intuitiivinen.
● PHP-kaarresäätötekniikka varmistaa, että käyttäjät voivat hallita päällystekerroksen laatua entistä helpommin pintakäsittelyn aikana. Jännitteen stabiloinnin ja ihanteellisen vallankaappauksen ominaisuuksien lisäksi virtalähde voi tehokkaasti estää työkappaleen pinnan kohoamista ja parantaa merkittävästi tuotannon saantia sekä pinnoitekappaleiden pintaliimeyttä ja kalvon kiinnittymistä.
● Virtalähde tarjoaa kolme tilaa (vakiojännite, jatkuva virta ja jatkuva teho), joista valita. Verrattuna tavanomaiseen vakiovirtatilaan vakiotehotila voi paremmin varmistaa pinnoitusprosessin toistettavuuden.
● Virtalähde voi kommunikoida isäntätietokoneen kautta digitaalisten porttien, kuten RS232, RS485, WIFI ja niin edelleen, joka laajentaa sen ohjaustoimintoa.
● Laajan tuotevalikoiman ja taajuuden ansiosta virtalähde voi vastata erilaisten prosessisovellusten tarpeisiin.
● Pääparametreja voidaan säätää suurella alueella.
määrittely
tuotemalli | EP80A125H |
Syöttöteho ja taajuus (V / Hz) Kolmas vaihe ja neljä johdinta | AC380 + N |
| 60Hz | |
Lähtövirta-alue (A) | 0 ~ 80 |
Tarkkuus vakiojännitteelle ja vakionopeudelle | ≤1% |
Nimellisjännite (DCV) | 1250 |
Suurin teho (KW) | 100 |
Työskentelykierros (%) | 80 |
Paino (kg) | 80 |
Ulkoiset mitat (MM) | 575 (D) x 480 (W) x 250 (H) |
Eristysluokka | B |
Tuottavuus (%) | 90 |
Kotelointiluokka | IP21 |
Käyttötapa | Jatkuva jännite, vakiojännite ja vakiovirtaustilat ovat valinnaisia.Vaihtoehtoinen lähtö: vakiovirta |
Jäähdytystila | Vesi-Jäähdytys |
Ulkoinen liitäntä | Tämän sarjan tuotteet kaikki Adopt Touch Screen Microcontroller |
Suorituskyvyn vertailu verrattuna 30 kw MF Magnetron Sputtering virtalähteeseen
Tuotetila | 30 kw keskitaajuus | EP125A80H |
Taajuus (kHz) | 40 | 40 |
Työskentelykierros (%) | 80 | 80 |
Jännite (V) | 800 | 800 |
Virta (A) | 38 | 125 |
Suurin teho (KW) | 30 | 100 |
Edut Power Power MF: n Magnetron Sputtering Power Source EP125A80H: sta
● Uunin korkea käyttöaste
EP125A80H vaatii vähemmän taajuuskohteita ja varmistaa uunin käytön ja paremman tuotantokapasiteetin.
● Erinomainen kaarresäätötekniikka
EP125A80H noudattaa PHP-kaarisuojausteknologiaa, joten käyttäjät voivat kätevästi hallita kalvon laatua pintakäsittelyn parissa, jotta saadaan parempi elokuvarakenne.
Käyttäjät voivat korvata nykyisen magnetronin sputterointivirtalähteen suoraan EP125A80H: lla ja korvata vain jäähdytysjärjestelmän sijaan katodimateriaalien ja magneettikenttien korvaamista.
● Suuri teho / tilavuus -suhde
Suuri teho-tilavuus -suhde helpottaa laitteiden asennuksen integrointia käyttäjille.
hakemus
Suuritehoinen MF-magnetronin sputteroiva virtalähde on laajalti käytetty plasmassa, fysikaalisissa, kemiallisissa, lääketieteellisissä ja erilaisissa tieteellisissä tutkimuskentissä. Se pystyy täyttämään laajan valikoiman prosessivaatimuksia erityisesti tyhjiöpinnoituslaitteissa.
