Tyhjökäsittelykoneen yksityiskohtainen rakenne

Tyhjiöpäällystyskoneen yksityiskohtainen rakenne

Korkea tyhjiöpäällystyskone, päällystyskone on eniten käytetty laitteisto tyhjiöolosuhteiden tuottamisessa. Sen liittyvät osat: mekaaninen pumppu, tehostepumppu, öljyn diffuusiopumppu, lauhdepumppu, tyhjiömittausjärjestelmä.

Seuraavassa esitän yksityiskohtaisesti kunkin osan koostumuksen ja toimintaperiaatteen.

1. Tyhjiökammio - tyhjiökammio

Käsittelytuotteiden eri vaatimusten mukaan tyhjiöontelon koko ei ole sama, nykyisin yleisimmin käytetty 1,3 M, 0,9 M, 1,5 M, 1,8 M jne., Ruostumatonta terästä oleva onkalo, ei ruostetta, kiinteää jne., jokaisessa tyhjiöontelon osassa on kytkentäventtiili, jota käytetään pumpun liittämiseen.

2. Lisäpumppujärjestelmä

Pakokaasujärjestelmä koostuu "diffuusiopumpusta + mekaanisesta pumpusta + juuripumpusta + matalan lämpötilan kylmälukosta + polycold"

Pakokaasuvirta on seuraava: mekaaninen pumppu pumppaa ensin tyhjiökammion pienempään vakuumitilaan, joka on pienempi kuin 2,0 * 10-2pa, mikä antaa edellytyksen diffuusiopumpulle tyhjiön pumppaamiseen. Myöhemmin, kun diffuusiopumppu pumppaa tyhjiökammion, mekaaninen pumppu ja öljyn diffuusiopumppu muodostavat sarjan pumppaustoiminnan loppuun saattamiseksi tällä tavalla.

Pakojärjestelmä on tärkeä osa päällystyskoneen tyhjiöjärjestelmää. Se koostuu pääasiassa mekaanisesta pumpusta, tehostepumpusta (pääasiassa juuripumpusta) ja öljyn diffuusiopumpusta.

Mekaaninen pumppu: tunnetaan myös etupuolen pumpuna, mekaaninen pumppu on yksi yleisimmin käytetystä matala-tyhjiöpumpusta, se on öljyä säilyttää tiivistysvaikutus ja luottaa mekaanisiin menetelmiin pumpun imuputken tilavuuden muuttamiseksi jatkuvasti, niin, että kaasun tilavuus pumpattavassa astiassa laajenee jatkuvasti vakuumin saamiseksi.

On olemassa monia erilaisia mekaanisia pumppuja, joita yleisesti käytetään liukuventtiilityypillä (tätä käytetään pääasiassa suurissa laitteissa), männän edestakaisin liikkuva, kiinteä ja pyörivä terän tyyppi (tämä on tällä hetkellä eniten käytetty, tämä paperi on pääasiassa esitelty) neljä tyyppiä.

Mekaanista pumppua käytetään usein poistamaan kuivaa ilmaa, mutta ei voi poistaa happipitoisuutta liian korkealla, räjähtävää ja syövyttävää kaasua, mekaanista pumppua käytetään yleensä pysyvän kaasun poistamiseen, mutta ei ole hyvä vaikutus veden kaasuun, joten vettä ei voida poistaa kaasu. Pyörivällä siipipumpulla on tärkeä asema staattorin, roottorin, shrapnelin jne. Osissa, jotka ovat staattorin roottorissa, mutta eroavat staattorimandaaleista, kuten kahdesta kirjoitetusta ympyrästä, roottorin urasta, jossa on kaksi kappaletta, kaksi kappaletta. keskellä oleva jousi, jotta varmistetaan, että shrapnel on tiukasti kiinni staattorin seinään.

Sen kaksi shrapneliä vuorotellen leikkivät kaksi roolia, toisaalta kaasun ilmansyötöstä, ja toisaalta se on puristettu kaasu-, kaasupurkauspumppuun. Jokainen roottorin pyöriminen, pumppu täytti kaksi imua ja kaksi pakokaasua. Kun pumppu pyörii jatkuvasti myötäpäivään, pyörivä siipipumppu pumpataan jatkuvasti ilmanottoaukon kautta ja jatkuvasti pumpun ulkopuolelta pakokaasunpoistoaukosta, jotta saavutetaan säiliön pumppauksen tarkoitus. Jotta tyhjiöpumppua voitaisiin rajoittaa, öljyssä kasteltu pumpun staattori ja kaikkialla haitallisen tilan puhdistuksessa on usein riittävästi öljyä, täytä aukko, joten toisaalta öljyn voitelu ja tiivistys ja tulppa ja avaruuden haitallinen vaikutus, estävät kaasumolekyylin kääntyvän virtauksen eri kanavien läpi tilan alhaiselle paineelle.

Mekaaninen pumppu käynnistyy ilmakehän työstä, sen pääparametrilla on raja-alipaine, pumppausnopeus, tämä suunnitteluun ja valitsee mekaanisen pumpun tärkeäksi perustaksi. Yksivaiheinen pumppu voi pumpata säiliön ilmakehästä 1,0 * 10-1pa: n rajavakuumiin, kaksivaiheinen mekaaninen pumppu voi pumpata säiliön ilmakehästä 6,7 * 10-2 pa: aan tai jopa korkeammalle.

Uuttonopeus viittaa kaasun tilavuuteen, joka voidaan purkaa yksikköä kohti, kun pyörivä siipipumppu toimii kierrosten nimellismäärän mukaisesti, joka voidaan laskea seuraavan kaavan avulla.

STH = 2nVs = 2nfsL

Fs tarkoittaa avaruusajan ontelon pinta-alaa inspiraation lopussa, L tarkoittaa ontelon pituutta, kerroin tarkoittaa roottorin pakokaasuprosessia kahdesti joka kiertosykli, Vs tarkoittaa inspiraation loppua, kun roottori on vaakasuorassa asennossa, tilavuus-aika-ontelon tilavuus on suurin, ja pyörimisnopeus on n.

Mekaanisen pumpun pakokaasun vaikutus moottorin nopeuteen ja hihnojen löysyyteen on suhde, kun moottorin hihna on löysällä, moottorin nopeus on hidasta, mekaanisen pumpun pakokaasun vaikutus pahenee, niin usein ylläpidettäväksi. , myös täytyy usein tarkistaa mekaanisen pumpun öljyn tiiviste, öljy on liian pieni, ei pysty täyttämään tiivistysvaikutusta, pumpun vuotoa, öljyä liikaa, imuaukon tukkeutumista, inspiraatiota ja pakokaasua, yleensä 0,5 cm öljyn tasolla offline-tilassa.

Turbo-pumppu / juuripumppu: siinä on oltava pari synkronista suurnopeus pyörivää kaksoislehtimuotoa tai roikkuva roottorin mekaaninen pumppu, koska se toimii samalla tavalla kuin juuripuhallin, joten se voi myös kutsua juuren tyhjiöpumppua, pumppua 100-1 mpa: n paineenpoistonopeus suuresti, se korvaa mekaanisen pumpun poistokyvyn riittämättömien puutteiden vuoksi, pumppu ei voi aloittaa työskentelyä ilmakehästä, ilman suoraa ilmakehän poistoa, sen rooli on vain lisää paine-eroa tulo- ja ulostuloaukon välillä, loput mekaanisesta pumpusta tarvitaan, joten sen on vastattava mekaanista pumppua tukipumppuna.

Mekaaninen pumppu prosessin käytössä on kiinnitettävä huomiota seuraaviin ongelmiin:

1, mekaaninen pumppu asennetaan puhtaaseen ja kuivaan paikkaan.

2, pumppu itse pitää puhtaana ja kuivana, pumppuöljyllä on tiivistys ja voitelu, joten se lisätään määrätyn määrän mukaisesti.

3, korvata säännöllisesti pumpun öljy, korvaaminen olisi poistettava ennen jäteöljyä, sykli vähintään kolme kuukautta - kuusi kuukautta vaihtaa kerran.

4. Liitä johdot ohjeiden mukaan.

5, ennen kuin mekaaninen pumppu pysäyttää työntöventtiilin sulkemisen, sitten sähkökatkoksen ja avaa ilmaventtiilin, ilma pumpun sisäänmenoaukon kautta.

6, pumpun työn aikana, öljyn lämpötila ei saa ylittää 75 astetta, muuten öljyn viskositeetti on liian pieni ja johtaa löysään tiivisteeseen.

7, tai tarkista mekaanisen pumpun hihnan kireys, moottorin nopeus, juuripumpun moottorin nopeus ja tiivisterenkaan tiivistysvaikutus.

Öljyhajotuspumppu: mekaanisen pumpun raja-alipaine on vain 10-2 pa, kun saavutetaan 10-1 pa, todellinen pumppausnopeus on vain 1/10 teoriasta, jos haluat saada korkean tyhjiön, sinun on käytettävä öljyn diffuusiota pumppu.

Koska öljyn diffuusiopumppu on ensimmäinen pumppu, jota käytetään korkean alipaineen saamiseksi, se on halpa, helppo huoltaa ja laajalti käytetty, joten tämä paperi keskittyy keskusteluun.

Öljyhajotuspumpun käyttöpaine-alue on 10-1 -10-7 pa, kaasun diffuusioilmiön käyttäminen pakokaasuun, sillä on yksinkertainen rakenne, helppo käyttää, pumppausnopeus on suuri (korkein voi saavuttaa 10 + 5 l s) ja muut ominaisuudet. Öljyhajotuspumppu koostuu pääasiassa pumpun kuoresta, suuttimesta, siirtoputkesta ja lämmittimestä. Öljyhajotuspumppu (d-704 # Japanissa) lisätään pääosin sisälle. Suuttimien lukumäärän mukaan se voidaan jakaa yksivaiheiseen pumppuun ja monivaiheiseen pumppuun.

Diffuusiopumpun pohjassa säilytetään diffuusiopumpun öljy. Ylempi osa on ilmansyöttö, ja oikeanpuoleinen alaosa on ilman poistoaukko. Käytön aikana ilmanpoistoaukko on varustettu mekaanisen pumpun esiasennuspaineella ja mekaanisella pumpulla ACTS esipainopumpulla.

Kun diffuusiopumpun öljyä kuumennetaan sähköuunilla, tuotettu öljyhöyry antaa esikuormituspaineen ja mekaanisen pumpun ACTS esilatauspumpuksi. Kun diffuusiopumpun öljyä kuumennetaan sähköuunilla, öljyn höyry päästetään putken läpi sateenvarjo-suuttimen läpi. Koska mekaanisen pumpun aikaansaama suuttimen ulkopuolella on 1 - 10-1 pa tyhjiö, öljyhöyry voidaan poistaa tietyn matkan päässä, jolloin muodostuu suihkun virtaus ilmanpoiston suuntaan. Lopuksi suihkukone täyttää jäähdytysvedellä jäähdytetyn pumpun seinämän, tiivistyy nesteeksi ja virtaa takaisin haihduttimeen, eli haihduttaa, suihkuttaa, tiivistyy ja kiertää toistuvasti ilmanpoiston aikaansaamiseksi.

Kun kaasumolekyylit pumpun ilma-aukossa tulevat höyryvirtaukseen, ne laskevat alaspäin liikkeen vauhtia, koska suihkulla on suuri nopeus (200 m / SEC), höyryn suuri tiheys ja diffuusiopumppuöljy, jolla on suuri molekyylipaino (300-500), se voi tehokkaasti ottaa kaasumolekyylejä, joten kaasumolekyylejä ei voida suihkuttaa jo pitkään, ja suihkun virtaus rajapinnan molemmilla puolilla , onko savukaasun konsentraatio erittäin huono, juuri siksi, että tämä konsentraatioero on savukaasun diffuusion suihkussa tapahtuvan toiminnan rajapinnassa, poistettiin poistumaan ja poistamalla mekaaninen pumppu.

Diffuusiopumpun öljyn höyrynpaine on tärkeä tekijä pumpun lopullisen tyhjiön määrittämiseksi.

Diffuusiopumppua ei voida käyttää pelkästään pumppaamiseen, vaan pumpun suurin ulostulopaine on 40 pa. Diffuusiopumpun pumppausvoitto on suunniteltu suuttimen ensimmäiselle tasolle ja sisääntulon halkaisijan pumpun rungolle, pyöreän alueen koko pumppausnopeuden välillä ei ole vakioarvo, mutta vaihtelee ilman sisääntulopaineen, kun paine on 2 - 10 -10-3, diffuusiopumpun imunopeus on nopein, kun paine on alle 5 * 10-4 mpa, diffuusiopumpun imunopeus on vähäisempi, ilman imukykyä (tässä vaiheessa tulopaine on korkeampi, koska se on korkea tiheys ilmaa, tee höyryjakajasta nopeaa suihkua estämään ilman diffuusio, joten pumppausnopeus laskee alas).

Diffuusiopumppu on puhdistettava ennen asennusta, ja sitten diffuusiöljy voidaan ladata. Ennen kuin öljyä lämmitetään, pumppu on ensin imuroitava ja diffuusiopumpun öljy on jäähdytettävä 60 - 70 asteeseen ennen koneen sammuttamista. Sitten etupuolen pakokaasu voidaan sulkea ja lopuksi jäähdytysvesi voidaan sulkea.

Koska öljyn diffuusiopumppu ei kykene lopettamaan öljyn mahdollisuutta, ei ole mitään keinoa taata 100-prosenttisesti täsmällisiä tuotteita, erityisesti puolijohdeteollisuudessa, joten on olemassa "korkean tyhjiön lauhdepumppu + matala alipaine mekaaninen pumppu". öljytön tyhjiöjärjestelmä, joka koostuu lauhdepumpun pakojärjestelmästä, joka koostuu paitsi pakokaasun hyötysuhteesta, on erittäin korkea ja takaa tehokkaasti tyhjiökammion puhtaan, varmistaa tuotteen laadun (saastuneiden tuotteiden välttämiseksi lisää pinnoitteen tarttumista päällysteen välillä) ja substraatti), mutta sen ylläpitokustannukset ovat erittäin korkeita, kalliita, joten öljyn diffuusiopumppua ei tunkeudu laajasti.

Lämpötilan tiivistyspumppu: se on eräänlainen pumppu, joka tiivistää kaasumolekyylejä alhaisen lämpötilan pinnalle pumppauksen toteuttamiseksi.

Lauhduttamispumpun toimintaperiaate: kaasun kondensoituminen, kylmäpysäytys ja fyysinen matala lämpötila adsorboituminen matalan lämpötilan pinnalle.

Kryogeeninen kondensoituminen: nestemäistä heliumia tai jäähdytysjakson heliumia käytetään jäähdytykseen eri kaasujen ominaisuuksien mukaan.

Kylmä ansastus: se on ilmiö, että kondensoitumaton kaasu on kondensoitumaton kaasu. Yleensä kaasut, kuten hiilidioksidi, vesihöyry, typpi ja puristettu kaasu, muodostavat ensin pakkan ja muodostavat sitten adsorptiokerroksen matalan lämpötilan pinnalle muiden kaasujen adsorptiotavoitteen saavuttamiseksi. Tästä syystä kryogeenisen pumpun vaikutus sekoitekaasun poistamisessa on parempi kuin yksittäisen kaasun.

Alhaisen lämpötilan adsorptio: viittaa kaasun adsorptioon adsorbentilla matalan lämpötilan pinnalla. Adsorbentin ja kaasumolekyylien välisen voimakkaan vuorovaikutuksen vuoksi höyrynpaine voi olla matalampi kuin kyllästyshöyrynpaine kondensaation pinnan lämpötilassa. Adsorbentti on tavallisesti aktiivihiili.

Lauhdutuspumpun pumppausnopeus ja lauhdutuspumppuun vaikuttava pumppausnopeus liittyvät kondensaatiopinnan alueen kokoon. Tietojen mukaan pumppausnopeus lauhdutuspinta-alan yksikköä kohti on 11,6 l / s. Lisäksi adsorptiopinnan geometria ja aktiivihiilen sijainti, aktiivihiilen hiukkasten rakenne, liimamateriaalit ja liimaprosessi vaikuttavat suuresti pumppausnopeuteen. Toiseksi avain on jääkaapin kylmäkapasiteetti riittävän suuri .

Tyhjiömittari: tyhjiömittari on tärkeä osa tyhjiöpäällystyskoneessa, se on tärkeä keino testata päällystyskoneen tyhjiöaste. Tyhjiömittari voidaan jakaa absoluuttiseen vakuumimittariin ja suhteelliseen vakuumimittariin sen toimintaperiaatteen mukaisesti. Absoluuttinen tyhjiömittari voi suoraan mitata paineen tasoa, kun taas suhteellinen tyhjiömittari voi mitata vain epäsuorasti tyhjiöasteen.

Tämä paperi tuo lähinnä päällystyskoneessa yleisesti käytetyt tyhjiömittarit:

Vastus-vakuumimittari (tunnetaan myös nimellä pirani-tyhjiömittari):

Se koostuu pääasiassa sähkölämmityslangasta, kuoresta ja kannattimesta, joka perustuu pääasiassa matalaan paineeseen, kaasun lämpöjohtavuus on verrannollinen työskentelypaineen paineeseen. Edellä mainittu aukko on kytketty testattavaan tyhjiöjärjestelmään. Kuuma lanka on valmistettu metallilangasta, joka kestää korkean lämpötilan. Kaksi tukijohtoa on kytketty mittauslinjaan. Kun paine laskee, kaasun lämpöjohtumisen kautta menetetty lämpö vähenee. Siksi, kun kuumalangan lämmitysvirta on vakaa, kuumalangan lämpötila nousee ja kuumalangan vastus kasvaa. Paine mitataan epäsuorasti mittaamalla kuumakaapelin vastus.

Tämä on resistenssi-vakuumimittarin toimintaperiaate, vakuumimittarin mittausalue on: 100-10-1 mpa: n välillä on tällä hetkellä käytössä olevat WP-02-mallit .

Magneettisesti ohjattu tyhjiövaimennin:

Miten se toimii: purkauksen alussa, avaruuden vuoksi, anodiliikkeen vapaat elektronit ortogonaalisen sähkömagneettisen kentän vaikutuksesta, elektronirata ei ole suora, vaan spiraali, ja koska anodi on kehys, niin elektroninen ei täyty ensimmäistä kertaa anodia, vaan anodin kautta ja katodin hylkäämisestä ja paluun jälkeen. Tämä voidaan toistaa monta kertaa anodilla. Kun elektronireittiä pidennetään huomattavasti, molekyylien törmäämisen ja ionisoinnin määrää lisätään, niin että purkaus (jota kutsutaan myös penning-purkaukseksi) pidetään suhteellisen alhaisessa paineessa (alle 10-4 pa).

Tällä hetkellä enemmän malleja ovat PKR251 ja gi-pary.

Poistoputken tyhjiömittari: kaksi metallielektrodia suljetaan lasiputkeen, ja siihen lisätään useita tuhansia volttia oleva korkea DC-jännite. Itsekestävää purkausta voi aiheuttaa tietyn painealueen sisällä (1 * 10-3 ~ 2 * 10 kiinnikkeitä). Tyhjiöaste voidaan määrittää purkausvärillä.

Tähän mennessä tällaista tyhjiömittaria on käytetty harvoin sen suuren virheen, vaurioitumisen ja lyhyen käyttöiän vuoksi.

3. Haihdutusjärjestelmä

Haihdutusjärjestelmä viittaa pääasiassa kalvonmuodostuslaitteeseen. Päällystyskoneessa on monia kalvonmuodostuslaitteita, mukaan lukien vastuslämmitys, elektronipistoolin haihtuminen, magnetronin sputterointi, rf-sputterointi, ionipinnoitus jne. Esitän kaksi vastuslämmitystapaa ja elektronipistoolin haihtumista, koska käytän näitä kahta menetelmää lisää.

Vastuksen haihtuminen on sen rakenteen ja toimintaperiaatteen mukaan ylivoimaisesti eniten käytetty haihdutusmenetelmä ja myös pisin käyttöaika. Tapa, jolla se toimii, on, että volframi laivana, ja sitten asennetaan kahden elektrodin keskelle, volframiveneen keskellä yrtteillä, jälleen hitaasti elektrodivirtaan, joka kulkee volframin läpi, volframivene sähkölämmitys, matalajännite, suurvirta tekevät volframiveneestä lämpöä, korkeaa sulamispistettä ja lämmönsiirtoa päällystemateriaaliin, kun volframiveneen lämmön määrä on korkeampi kuin päällystemateriaalin sulamispiste, materiaalin sublimaatio tai höyrystyminen, tämä menetelmä johtuu siitä, että helppokäyttöinen, yksinkertainen rakenne, edulliset, joten on paljon laitteita, mutta ohutkalvon haihtuminen alhaisen tiheyden takia ja paljon materiaalia ei voi käyttää tätä tapaa haihtumiseen, joten sillä on tiettyjä rajoituksia. Volframiveneiden haihdutuspäällystemateriaali, materiaalien sulamispisteen on oltava pienempi kuin volframiveneen sulamispiste, muuten ei ole mahdollista suorittaa.

Elektronipistoolin haihtuminen on tähän mennessä eniten käytetty haihdutusmenetelmä. Se voi haihduttaa minkä tahansa päällystemateriaalin. Sen toimintatapa on: upokkaassa oleva päällystemateriaali, haihdutuslähde hehkulangan muotoon käyttäen erityistä ohjauskaappia, voimakkaan virran omaava hehkulamppu, korkea jännite, johtuen materiaalista on volframilanka, joten se on kuumaa, loppu käynnistyy sähköisesti, ja tietyn magneettikentän käyttöönotto kootaan tietyn muotoiseksi, ja tangon muodostaminen täten muodostettuun palkkiin johtuen elektronin lämpötilasta on erittäin korkea, voi sulaa kaikki päällystemateriaalit päällystysmateriaaleina on sen jälkeen, kun elektronisuihku sulaa (osa aineesta on suoraan sublimaatio), molekyylien (atomit tai ionit) lääkekasvit vakuumissa lineaariseen liikkeeseen, sitten kohtaa pohjalevyn ja tiivistyy sitten tämän kasvutavan jälkeen, muodostaen elokuvan ! Yleisimmin käytetään elektronisäteen taipumiskulman 270 astetta tai e-linjan elektronipistoolia, jossa on e- tai elektronisuihkun reitti, 180 asteen polulla ja c-tyypin elektronipistoolilla, jolla on reitin. of c.

Elektronisuihkun haihtumisen suurin etu on: elektronisuihkun pistettä voidaan säätää tahdolla, hehkulanka voidaan piilottaa, välttää pilaantumista, voi haihtua minkä tahansa pinnoitemateriaalin, helpon huollon, haihtumisnopeuden hallittavaksi, pienen materiaalin hajoamisen , korkea kalvotiheys. Hyvä mekaaninen lujuus .

Sputterointimenetelmä on pommittaa kohdemateriaalin pinta suurilla nopeuksilla positiivisilla ioneilla. Kineettisen energiansiirron avulla kohdemateriaalin molekyyleillä (atomeilla) on tarpeeksi energiaa poistumaan kohdemateriaalin pinnasta, ja sitten koaguloituu tuotteen pinnalle kalvon muodostamiseksi.

Sputterointimenetelmällä kerrostetulla kalvolla on vahva tarttuvuus ja korkea puhtaus, ja se voi ruiskuttaa useita erilaisia materiaaleja samanaikaisesti. Siinä on kuitenkin korkeat vaatimukset kohdemateriaalille ja ne eivät voi säästää resursseja, kuten elektronipistoolia.

Tällä hetkellä magnetronin sputterointi on yleisimmin käytetty menetelmä. Magneetron sputteroinnilla on tarkoitus parantaa katodin pinnan suuntaista parannettua sähkökenttää ja rajoittaa elektronit katodin kohdepinnan lähelle ionisaation tehokkuuden parantamiseksi. Se on yksinkertaisin toiminta, joten sitä käytetään laajasti.

4. Kalvonmuodostuksen ohjausjärjestelmä

Tällä hetkellä on olemassa monia kalvon seurantamenetelmiä, kuten visuaalinen seuranta, kiinteän arvon seuranta, kristallivärähtelyn seuranta, ajan seuranta ja niin edelleen. Esitän pääasiassa visuaalisen seurannan, kiinteän (äärimmäisen) seurannan ja kristallivärähtelyn seurannan kolme.

Visuaalinen seuranta, joka tunnetaan myös nimellä suora seuranta, on silmäseurannan käyttö, koska kasvun prosessissa esiintyvä elokuva häiriöilmiöstä johtuen värivaihtelut, perustuvat värinmuutoksiin elokuvan paksuuden säätämiseksi. menetelmällä on tietty virhe, joten se ei ole kovin tarkka, meidän on luotettava kokemukseen.

Kiinteän arvon (ääriarvon) valvonta: KÄYTTÄÄ pääasiassa heijastustyyppistä (läpimenevää) optista seurantaa. Äärimmäisen arvon seurantamenetelmä: kun kalvon paksuus kasvaa, sen heijastuskyky ja tunkeutumisaste seuraa muutosta, kun heijastuskyky tai tunkeutumisnopeus äärimmäiseen pisteeseen, voimme tietää, että ND: n pinnoitteen optinen paksuus on neljäsosa tarkkailun aallonpituudesta ( ) kokonaislukuina. Ääriarvomenetelmän virhe on kuitenkin suhteellisen suuri, koska kun heijastavuus tai läpäisevyys muuttuu hyvin hitaasti lähellä ääriarvoa, eli kalvonpaksuus ND kasvaa paljon, R / T-muutokset. Herkempi asema on yksi kahdeksasosa aallonpituudesta.

Kiinteän arvon seurantamenetelmä: tällä menetelmällä KÄYTÄ pysäytyspistettä ei tarkkailla aallonpituuden neljännes-aallon tasoa, ja sitten tietokone laskee kalvon kokonaispaksuuden heijastuskyvyn aallonpituudella, joka on pysäytyspinnoite kohta.

Kristallivärähtelyseuranta:

Kiteiden värähtelyn toimintaperiaate on, että kvartsikiteiden värähtelytaajuus on kääntäen verrannollinen sen massaan. Kuitenkin eräs kvartsipitoisuuden haittapuoli on se, että kun kalvon paksuus kasvaa tiettyyn paksuuteen, värähtelytaajuus ei johdu täysin kvartsin ominaisuuksista, joten paksuuden ja taajuuden välillä on lineaarinen suhde.

Useilla seurantamenetelmillä on omat etunsa ja haittansa, mutta tavallisesti monikerroksinen päällyste, optinen valvonta on pääasiallinen, kvartsi- kiteiden värähtely apumenetelmänä.

Lisäksi joillekin päällystysprosessissa on täytettävä kaasuvirtauksen säätömittari tai paineensäätömittari, joiden on käytettävä kehittyneitä venttiilejä ja valosähköistä tunnistusta.

Päällystysprosessissa tarvitaan myös pyörivää ohjausjärjestelmää, on laittaa sateenvarjon pääakseli laakeriin ja käyttää sitten moottoria laakerin ajamiseksi niin, että sateenvarjo pyörittää. Sitten PLC ohjaa pyörimisnopeuttaan.

Upokkaan pyörimistä ohjaa sähkömoottori, valosähköinen induktiolaskentamenetelmä ja suojalevy pyöritetään pneumaattisella kytkimellä.

Uuttonopeuden nopeuttamiseksi ja tietyn vakuumitason saavuttamiseksi tyhjiökammio on myös jäähdytettävä, eli tyhjiökammion sisällä oleva ilma jäädytetään -130 ° C: een ja veden ilma tyhjiökammiossa on jäädytetty ja pumpattu.

PLC: n automaattinen ohjaus, artikkelin sähköinen ohjausosa on ensimmäinen PLC-tulonsuunnitteluohjelmassa etukäteen, prosessorin päävirtapiiri on kytketty tyhjään järjestelmään käyttöpaneelissa, kun painat käyttöpaneelin kytkintä, tiedonsiirto keskusyksikköön prosessointiyksikkö (CPU) ja sitten keskusohjausjärjestelmän analyysi ja toteuttaa ja täydentää sivuliikkeen antamat ohjeet.

Päällystyskone on monitieteinen laitteisto, IT integroi alan edistyksellisin mekaaniset ja elektroniset tekniikat, ohjaustekniikka, sähköautomaatio, tietotekniikka, jäähdytystekniikka, mikropiirien integroidut järjestelmät, korkeapaineensäätöjärjestelmä, mekaaninen tekniikka, prosessitekniikka, valosähkötekniikka , optinen tekniikka, pneumaattiset ohjausmenetelmät, valosähköiset anturitekniikka, viestintätekniikka, tyhjiöteknologia, optinen kalvo- ja päällystystekniikka ja niin edelleen.

Voidaan sanoa, että päällystyskone on uusi toimialan edustaja.

Nykyään päällystyskoneita on käytetty laajalti, erityisesti kalvopäällystyskalvoa, valosähköiseen järjestelmään ja optisiin instrumentteihin, kuten digitaalikameroihin, digitaalikameroihin, kiikareihin, projektoriin, energianohjaukseen, optiseen viestintään, tuotettiin erilaisia ohutkalvoja. Näyttötekniikka, interferometri, satelliittiohjukset, puolijohdelaseri, mems, informaatioteollisuus, laserin tuotanto, kaikenlaiset suodattimet, valaistusala, anturit, arkkitehtoninen lasi, autoteollisuus, koriste, MONET, lasit jne. ihmisen elämään.

Tuontipäällystyskoneen hinta tavallisesti saavuttaa 3–10 miljoonaa RMB: tä, ja kotitalouslaitteiden kustannukset ovat noin miljoona RMB: tä.

IKS PVD, voimme tarjota työkaluja päällystyskoneella, koristepinnoituskoneella, optisella pinnoituskoneella, ota meihin yhteyttä nyt, iks.pvd@foxmail.com