Resistance Vacuum Gauge -rakenteen rakenne (Pirani-tyhjiömittari)

Vastuksen tyhjiömittari, joka tunnetaan myös Pirani-mittarina, heijastaa paine-muutoksia, jotka perustuvat kuumapäästösuojauksen muutoksiin. Se koostuu pääosin mitta- ja mittauspiireistä. Mittausalue on 104-10-1 Pa.

Vastusmittarin rakenne on esitetty kuvassa 1. Sylinterimäinen kierteinen kuumaharja, joka on käämitty korkealla lämpötilakertoimella, on koteloitu säätökoteloon. Kuumajohdon molemmat päät johdetaan mittaputkeen ja yhdistetään mittauslinja. Mittalaite voidaan valmistaa metallista tai lasista. Metallikuorella on edut kestävyydestä, kuumien filamenttien kätevästä poistamisesta jne. Haitat ovat huono tiivistyskyky ja korkea hinta. Lasikuorella on hyvät tiivistysominaisuudet ja alhainen hinta, ja haittapuolena on se, että se vahingoittuu helposti.

Taulukossa 4-1 on esitetty resistenssilämpötilan kerroin ja joidenkin vastalevyjen resistanssit, jotka haavoitetulla kuumennuslangalla, joista tavallisesti käytetään volframia, platinaa ja nikkeliä. Kuumajohdon työskentelyvakauden varmistamiseksi kuumalangan pinnan puhdistamisen lisäksi joskus ohut kerros lasia, kvartsia tai tantaalia levitetään kuumankankaan pinnalle, jotta vältetään kuuman lankahapon hapetus tai kontaminaatio kun sitä käytetään korkeassa paineessa. Uskotaan kuitenkin, että tämä menetelmä nostaa termistä inertiaan.

Metalli: Tungsten Platinum Nikkeli Kromi Iridium Molybdeeni Rauta Kupari Hopeaa

Vastuslämpötila

Kerroin 0 ° C: ssa 4,82 3,9 6,0 2,5 4,1 4,71 6,0 4,3 4,29

(10 - ³ ° C ^-1 )

Resistiivisyys 0 ° C: ssa 5,1 9,2-9,6 6,84 12,9 4,85 5,71 9,7 1,67 1,59

px10 ^-8 (Ω · m)

Taulukko 4-1 Eräiden metallien resistanssin lämpötilakerroin ja vastuskyky