Massa virtausmittari
D07 - 7KM massa virtausmittari johdanto massa virtausmittari (MFC) koostuu kolmesta peruslaitteet: virtausanturi, flow splitter ohitus ja piirilevy, se mittaa tarkasti massavirran poikkeaa joiltain osin savukaasun volyymi on vaihdellut koska lämpötilan muutokset. MFC sovelletaan laajalti kentät...
- Tuotteen esittely
Johdanto
Massa virtausmittari (MFC) koostuu kolmesta peruslaitteet: virtausanturi, flow splitter ohitus ja piirilevy, se mittaa tarkasti massavirran poikkeaa joiltain osin savukaasun volyymi on vaihdellut koska lämpötilan muutokset. MFC on yleisesti sovelletaan aloilla puolijohde ja IC valmistus, erityisesti materiaalitieteen, kemianteollisuuden, petrolic teollisuus, lääketeollisuuden, ympäristön suojelu, Alipainejärjestelmän tutkimiseen, jne.
Tyypillinen sovellus
Tyypillisiä sovelluksia MFC ovat microelectronic prosessilaitteiston diffuusio, hapettumista, epitaxy, CVD, plasma, etsaus, sputtering, ioni-istutus ja muun kentän, kuten tyhjiö laskeuman laitteet, valokuitu sulaminen, mikro-reaktio laitteet, sekoittamalla & vastaavat kaasuverkkoon kapillaari virtaus ohjausjärjestelmä Kaasukromatografi ja muut laitteet.
D07 - 7KM MFC on etuja erittäin tarkasti, pitkä käyttöikä, erinomainen toistettavuus, nopea reagointi, soft-start, hyvä luotettavuus, laaja käyttö paine ala (hyvä käyttö korkean paineen tai tyhjiön tilanne), helppo ja kätevä käyttö jne. Voidaan asentaa, missä tarvitaan ja liittyviä tietokoneeseen ymmärtää automaattinen ohjaus.
Erittely
Flow vaihtelee | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1, 2, 3, 5, 10) SLM |
Tarkkuus | ±1.5%F.S |
Lineaarisuus | ±1%F.S |
Toistettavuus | ±0.2%F.S |
Vastausaika | ≤4 sec |
Lämpötilakerroin | Nolla: ≤±0.1%F.S./℃;Span: ≤±0.2%F.S./℃ |
Maksimaalinen paine | 3MPa |
Käyttölämpötila | 5℃ ~ 45℃ |
Tiivistysmateriaaleja | Viton, neopreeni |
Asetus-/ lähtösignaalin | 0V ~ + 5.00V (Tulo impedanssi > 100K lähtö Current≤3ma) |
Virtalähde | + 15V 50mA -15V 50mA |
Sähköliitäntä | D sub 15-pin naaras |
Paine | < 0,01=""> |
Vuodon määrä | 1 × 10-8atm•cc / s hän (1 × 10-9 Pa•m3/s hän) |
Standard yhteinen | SwagelokΦ8, SwagelokΦ6, SwagelokΦ3, Swagelok1/8 ”, φ4 (sisäinen) × 1 Letkun liitin, VCR1/4”, Swagelok1/4 ”, φ6 (sisäinen) × 1 Letkun liitin |
Media | Kaikki kaasu |
EMI | CE |
Paino | 0,92 kg |
Asennus ulottuvuuden
